中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-50 #293614908 を販売中

ID: 293614908
ウェーハサイズ: 8"
Resistivity mapping system, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-50は、半導体ウェーハの試験および計測に使用される多機能の自動装置です。高精度の光学技術と触覚技術を組み合わせ、正確で信頼性の高いウェーハ測定結果を提供します。このRS-50は、複数の計測および試験要件を満たすために、さまざまな先進技術を備えています。RS-50は、高度な低照度イメージングシステムと高スループットステージを組み合わせて、ラインおよびその他の物理的属性の非常に高い分解能の測定を提供します。このRS-50により、イメージベースと非イメージベースの両方の測定で高い精度が得られます。これにより、高精度の測定を必要とする多くのアプリケーションに理想的です。このユニットは、高スループットとフィードバック駆動のオートメーション用に設計されています。1ミクロンの精度で5「から12」までのウェーハサイズの範囲を測定できます。インテリジェントなウエハハンドラ、明るい照明(近赤外照明を含む)、収差補正レンズを備えています。他の機能の中でも、KLA Omnimap RS-50には、視野内の複数のオブジェクトを正確に制御するための、ユーザーフレンドリーな自動光学制御および測定ソフトウェアが含まれています。このRS-50には、サンプルの精密配置を確実にするための光学フィードバック技術を備えた完全自動ウェハハンドラも装備されています。これにより、サンプルの正確なアライメントが保証され、単一の測定サイクル内で再現性とデータ精度が最大化されます。このマシンは、ラップアラウンドまたはダイエッジの制約がある場合でも、最も困難なデバイスに対して優れた測定機能を備えています。このRS-50は、さまざまな計測要件に対応するための最大限の柔軟性を備えています。ソフトウェアのプロセス統合により、迅速かつ簡単にカスタマイズ可能な自動レシピ駆動計測が可能になり、スループットとデータ品質が向上します。また、高度な計測機能により、迅速で信頼性の高い測定結果が得られ、エンジニアはプロジェクトの貴重な時間とリソースを節約できます。TENCOR Omnimap RS-50は、半導体ウェーハの試験および計測のための強力で汎用性の高いツールです。このアセットは、ユーザーに正確な制御、正確な測定、自動化されたハイスループット機能を提供します。その反復可能で信頼性の高い結果とユーザーフレンドリーな性質により、高精度の半導体ウェーハ試験および計測に最適なソリューションです。
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