中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA #9243618 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35CAウェハテストおよび計測機器は、半導体材料のプロセスパラメータを分析するための信頼性の高い強力なツールです。システムは、新しく設計されたソフトウェアアルゴリズムとソフトウェアアーキテクチャを備えたモジュラープラットフォーム上に構築されています。このプラットフォームを使用すると、データの取得と分析を高速化し、意思決定と納期を短縮できます。このユニットは、最大直径8インチのウェーハに対応でき、最大6,000 x 6,000ピクセルの作業分解能を備えています。機械はまた、さまざまな金属層、酸化物層、およびポリシリコン層をテストすることができます。このツールには、スキャン動作に配置された多数のLEDパターンフィールド外部照明器、1つのスナップショットで画像をキャプチャするin-situ カラーCCDカメラ、デジタル画像を処理する高速信号プロセッサ、サンプルの高さを調整する高解像度ステッピングモーターなど、いくつかの重要なコンポーネントが装備されています。さらに、このアセットには、ウェーハ上の構造をテストするための精密マニピュレータとプローブが含まれています。これらのコンポーネントは、ウェーハ上の構造を正確にマッピングできる、最適化されたクローズドループモデルに統合されています。装置はウェーハのプロセスパラメータを正確に特徴付けるだけでなく、基板表面欠陥の検査も可能です。ウェーハ表面の欠陥を捉える高解像度ビジョンモジュールを搭載しています。このユニットは、ピッティング、ピンホール、突起、傷などの基板表面の欠陥を正確に特定して測定することができます。機械はまた異なった地形の異なったタイプのテスト基質を扱うことができます。例えば、このツールは表面トポロジの違いを検出し、ステップ、ウェルエッジ、基板表面の他の構造などの特徴を正確に特定できます。また、高構造化基板の層の均一性を迅速に測定することも可能です。厚み、表面粗さ、汚染の均一性を正確に測定できます。KLA Omnimap RS-35CAウェーハテストおよび計測機器は、半導体材料の測定と検査のための高度で効率的なツールです。内蔵カラーCCDカメラ、デジタルイメージプロセッサ、ステッピングモータ、精密マニピュレータ、プローブなどの統合コンポーネントにより、ウェハ特性を正確に測定および検査し、欠陥を特定することができます。したがって、このユニットは半導体産業にとって非常に貴重なツールです。