中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA #9227292 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35CAは、最先端のウェーハ試験および計測機器です。これは、大規模なメモリおよびロジックデバイス、ウェハレベルおよびダイレベルデバイスで使用するために設計されています。光計測、電気試験、ブライトフィールド/ダークフィールドイメージング、走査型電子顕微鏡など、複数の測定タイプを組み合わせた高精度の統合測定システムです。RS-35CAユニットは、電気データ、光学パラメータ、2Dアレイ、相関など、さまざまな測定タイプのナノスケールレベルで最高の精度と高い再現性を提供します。また、すべての欠陥とヒロック欠陥の欠陥分離とサイジングの優れた特性を提供します。このマシンは、光学計測、電気試験、シャドウイメージング、およびスキャン電子顕微鏡などのさまざまなスキャン技術を組み合わせて、任意のサンプルの正確な寸法と材料組成を測定するマルチフィジックスプラットフォームで構成されています。RS-35CAは、各サンプルの幅、深さ、高さを高精度に測定するための3チャネル光学計測を提供します。これは、デバイス欠陥の検出と特性評価を可能にするACおよびDC電気試験技術のコマンドと組み合わされています。このツールは、欠陥分離および特性評価のためのブライトフィールド/ダークフィールドイメージング、ならびにサンプル構造の分析のための走査型電子顕微鏡にも対応しています。RS-35CAはまた、さまざまなチップおよびウェーハテストアプリケーションに適した包括的なアプリケーションを提供しています。線の幅、線のエッジの粗さ、弓/皿の測定、ステップの高さの分析、反射イメージング、分光分析、および組成イメージング。さらに、データ解析、欠陥感度解析、プロセス指向マッピングをサポートしているため、プロセスエンジニアはプロセスの動作を理解できます。全体として、KLA Omnimap RS-35CAモデルは、精度、再現性、信頼性の高い結果を得るためのいくつかの測定技術を組み合わせた最先端のウェハテストおよび計測機器です。大小のメモリとロジックデバイスの両方に、さまざまなデバイスメトリックとパラメータに関する信頼性の高い情報を提供することができます。