中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35 #9192614 を販売中

ID: 9192614
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35は、ウェハレベルの電気特性を正確に測定するために特別に設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、高解像度イメージングユニットと自動スピンスタンドという2つの信頼性の高い機器を1つのプラットフォームで組み合わせています。これら2つの機器が連携することで、ウェーハレベル集積回路(IC)の非侵襲的で費用対効果の高い再現性のある検査と特性評価が可能になり、チップ特性の詳細な特性評価が可能になります。KLA Omnimap RS-35で使用されるイメージングマシンは、電圧、電流、容量、抵抗などの多くの電気パラメータを同時に測定することで、高解像度のフルフィールドオブビューイメージング機能を提供します。自動ステージと高速シャッターを使用して、ウェーハのさまざまな部分で画像を素早くスキャンして取得します。また、このイメージングツールは、イメージングプロセスの感度と選択性を向上させることができる幅広い光学フィルターを備えています。自動化されたスピンスタンドは、TENCOR OMNIMAP RS35で使用される高度なエンジニアリング製品です。ウェーハを複数の異なる速度で回転させることができ、チップの適切な評価に必要な傾き/シフト/回転運動を可能にします。スピンスタンドには力限定のタッチダウンデバイスも装備されており、プローブとテストされたポイント間の繰り返し可能で穏やかな接触を可能にします。アセット全体がコンパクトで効率的に設計されており、他の処理プラットフォームとの統合を可能にする標準的なフットプリントを備えています。さらに、このモデルは非常に低い熱署名を維持し、効率的に熱を放散するため、機器の暖房が最小限に抑えられ、信頼性の高い作業環境が得られます。また、さまざまな接続オプションを備えているため、ユーザーはデータや画像ファイルを他のシステムに素早く簡単に転送できます。イメージングユニットとスピンスタンドの組み合わせにより、KLA OMNIMAP RS35ウェーハテストと計測における業界リーダーです。チップの非侵襲的で費用対効果の高い測定方法を提供し、個々のチップの電気特性を詳細に知ることができます。これにより、半導体製造から集積回路設計まで、幅広い業界で優れた選択肢となります。
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