中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap Auto RS-55/TC #293793902 を販売中

ID: 293793902
Resistivity mapping system Probe head missing.
KLA Omnimap Auto RS-75/TCは、半導体ウェーハの検査および測定に使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、200mm x 150mmまでの視野で、直径200mmまでのウェーハをスキャンすることができます。オペレータ補助なしでウェーハの積み下ろしが可能な自動サンプルローダーを搭載しています。このユニットは、ナノスケールのウェーハを3次元の運動範囲で特徴付けるように設計されています。高さ、厚さ、オーバーレイ精度など、さまざまな形状を測定できます。このRS-75/TCは、可変焦点、可変画像サイズ、可変レーザー強度、可変レーザーフォーカスなど、さまざまなプロービングパラメータもサポートしています。このマシンは、正確で高速な結果を提供するように設計されており、4チャンネルのフォーカス最適化により、このツールはクラス最高のウェーハ特性評価を実行できます。FFT、ラインスキャン、ベクタースキャンなど、さまざまなスキャンモードで検査を行うことができます。さらに、モデルのフットプリントを低減し、高速化に最適化されています。RS-75/TCには、簡単なプログラムの作成、調整、およびメンテナンス後のトラブルシューティングを可能にするソフトウェアも装備されています。このソフトウェアは、マクロプログラマブルなウェーハの開始と完了スキャンを備えており、複雑な2次元および3次元プログラムにも対応できます。さらに、この機器にはバックエンドマッピングソフトウェアが装備されており、1つのマップで数百万画素のデータを分析、保存、評価することができます。RS-75/TCは、高度な制御および自動化機能を備えており、操作を簡素化し、故障モードを迅速かつ正確に検出および報告し、メンテナンスコストと生産サイクル時間を削減します。また、低い所有コストを念頭に置いて設計されており、自動校正や信頼性の高い自己診断などの高度なツールを提供し、システムが最小限のオペレータ介入で最適に動作するように装備されていることを保証します。結論として、TENCOR Omnimap Auto RS-75/TCは、クラス最高の結果を提供し、潜在的な故障モードを迅速に検出するように設計された信頼性の高い正確なウェハテストおよび計測ユニットです。コストとオペレータの介入を最小限に抑えるために自動化されたプロセスを備えており、高度なスキャン技術とソフトウェアを提供して操作を簡素化し、迅速な測定を可能にし、信頼性の高い結果を保証します。
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