中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9134678 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300は、高度な半導体製造における高度なプロセス制御のための業界トップクラスの精度、スループット、柔軟性を提供するように設計されたウェハテストおよび計測システムです。プリボンドから完成品まで、幅広いウェーハの非接触、非破壊検査、および破壊サンプルテストをサポートします。KLA M-Gage 300は、対象となるパラメータが許容範囲に留まるように設計されており、表面粗さ、ステップ高さ、抵抗性などの仕様外プロセスに起因する問題の可能性を最小限に抑えます。このシステムは、測定ヘッドを含むいくつかの主要コンポーネントを備えており、さまざまなパラメータを測定するためのさまざまなセンサーを装備することができます。また、マイクロプロセッサ制御のシーケンシャルテスターを搭載しており、複雑な多体テストプロトコルを単一のテストサイクルで実行できます。また、画像解析モジュールとウェーハグリッパーを搭載し、ウェーハのサイズや形状、プローブとウェーハ表面の接触力を正確に測定することができます。TENCOR M-Gage 300は、スピンオン、メッキ、エッチングプロセスなど、さまざまなプロセス化学製品で動作するように設計されています。複雑な機械的アライメントやセットアップ手順を必要とせず、1サイクルで高分解能の計測データを実現できます。PROMETRIX M-Gage 300は、仕様欠陥を検出し、詳細なプロセス分析を提供するように設計されており、設計の最適化とプロセス制御に最適なソリューションです。M-Gage 300は非接触ウエハ検査にも優れており、サブミクロン分解能と低ノイズ性能を提供します。その高度なイメージング機能により、粒子、ボイド、ライン端の粗さなど、さまざまな欠陥を検出できます。さらに、ウェーハ認識機能も備えており、正しいウェーハのテストを確実に行うことができます。KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300は、低い運用コストやユーザーフレンドリーな操作など、高度なプロセス制御に最適ないくつかの機能を提供します。直感的なソフトウェアと包括的なデータ分析機能により、使いやすく理解しやすく、柔軟性があるため、さまざまなプロセス要件に適応できます。これらのすべての機能により、KLA M-Gage 300は今日の高度なウェーハテストおよび計測アプリケーションに最適です。