中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX FT-750 #293652818 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-750は、生産環境で300mm以上の半導体ウェーハおよびダイの正確で信頼性の高い再現可能な測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、自動欠陥検査、自動粒子解析、光学および電気測定、オーバーレイ、欠陥識別、故障解析などの包括的なテスト機能を提供します。KLA FT-750は、コンピュータ制御のマルチセンサ干渉計、充電連動デバイスカメラ、高速連動ロボットサブシステム、洗練されたユーザーインターフェースを利用した高精度の自動ユニットです。TENCOR FT 750が納入した干渉計は、オプトエレクトロニクス工具、干渉計、機械的ステージ、マニピュレータを搭載した高精度画像機です。このアセットには、フォトリソグラフィ、オーバーエッチ、フロントエンドオブライン（FEOL）、バックエンドオブライン（BEOL）などの幅広い用途において、様々な地形や光学コントラストの変化を正確に測定し、画像化するために設計された最先端のフーリエ変換干渉計が組み込まれています。CCDカメラは、幅広い用途で高解像度画像に必要な安定性と精度を提供します。メタルシールされたロボットサブシステムは、干渉計とユーザーのワークベンチ間の迅速で正確なウェハローディングとアンロードを容易にし、直感的なユーザーインターフェイスにより、事前定義された機能とテストプロセスレシピを使用した自動測定シーケンスを可能にします。KLA FT 750モデルには、開発および生産プロセスの結果としてフィーチャープロファイルの変更を測定できる完全な統計解析機能も含まれています。これらの機能と正確な欠陥イメージング機能により、信頼性の高い欠陥分類と特性評価が可能になります。この機器には、計測プロセス監視、自動オペレータのプロンプト機能、パフォーマンスと測定シーケンスの最適化、エラー報告など、包括的なシステム管理ツールも含まれています。この汎用性と包括的なユニットにより、ユーザーは手動ステップを排除し、サイクルタイムを短縮しながら、必要なデータにアクセスできます。全体として、FT-750は高度なウェーハテストと計測機械で、自動化の強化、精度と信頼性の向上、スループットの向上を実現します。このツールは、包括的な範囲の機能を提供し、ユーザーが生産環境でデータを監視してコレットデータを収集することができ、同時に包括的な統計分析機能を提供します。このアセットのユーザーインターフェイスにより、自動測定シーケンスと合理化された欠陥分類と特性評価が可能になり、半導体アプリケーションに最適なソリューションとなります。