中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX FT-500 #293646052 を販売中

ID: 293646052
Film thickness probe system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-500は、半導体生産の厳しい要求に応えるように設計されたハイエンドのウェーハ試験および計測ソリューションです。KLA FT-500は、高度な自動化とさまざまな検査および分析機能を備えた多機能機器で、半導体製造プロセスの重要な側面に単一のソリューションを提供します。TENCOR FT-500には、光学検査、高解像度イメージング、イメージベースのパターン認識、および自動欠陥分類(ADC)機能が含まれます。この機能の組み合わせにより、ウェーハの自動化されたプロセスフローの潜在的な欠陥を識別し、分類することができます。ウェハマップ全体を分析することができるため、歩留まりと性能のバリエーションをプロセスに誘導することができます。このデータは、品質の悪いサンプルや欠陥部品の根本原因を特定するために使用できます。FT-500はまた、光学計測機能の完全なスイートを提供しています。このユニットは、重要なダイ寸法、オーバーレイアライメント、およびナノメートル精度のフィーチャーのトレースエッジを測定できます。さらに、PROMETRIX FT-500は、プロセスと材料を評価するための計測固有のイメージング技術とウェハーマッピング機能を備えています。KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-500は、直径200mmまでのウェーハをサポートする使いやすい凹型ロボットハンドラを備えています。自動化されたハンドラは1時間あたり最大400ウェハで動作し、生産性を最大化します。さらに、マシンは複数のオプションと柔軟な構成の配列で完全にカスタマイズ可能です。最後に、KLA FT-500は信頼性が高く効率的であるように設計されています。半導体検査および計測の基盤として機能し、迅速な生産、信頼性の高い性能、および高度なウエハレベルの欠陥解析を提供します。これらの先進的な手法と技術により、TENCOR FT-500は半導体生産環境に最適なソリューションです。
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