中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Frame for RS-55 #293662048 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX Frame for RS-55は、包括的な分析、監視、検査機能を提供する最新のウェーハ試験および計測機器です。耐抵抗性、ドーピングプロファイル、誘電強度、イオン化量(TID)など、さまざまなウエハーパラメータを測定できる堅牢で汎用性の高いプラットフォームです。このシステムは、抵抗、電子プローブ微小分析(EPMA)、 X線蛍光(XRF)、 X線回折(XRD)、反射分光(SPEC)、および走査光学(SPEC)のためのさまざまなin-situ測定オプションを備えたマルチセンサのopto-mechanicalプローブヘッドで構成されています。さらに、垂直プロフィロメーターと高解像度の表面スキャナを備えており、精密な平坦度測定が可能です。Opto-Mechanicalプローブヘッドは、最大直径200mmのウェーハと、さまざまなレベルの複雑さを持つ部品を検査することができます。マルチセンサーヘッドには、最高の精度を確保するために、さまざまなエネルギーおよび圧力検出機能が装備されています。また、独自のデュアルパススキャン技術を搭載しており、ウェーハの上面と下面を同時にスキャンできるため、より詳細で正確なデータが得られます。KLA Frame for RS-55は、スループットの向上と使いやすさの向上を可能にする高度な自動化機能も備えています。特に、部品の自動積み下ろしを可能にする自動ウェーハハンドリングユニットを搭載しています。これにより、手動での処理にかかる時間が短縮され、本番環境の大幅な効率向上が実現します。TENCOR Frame for RS-55は、包括的なテストおよび分析機能を提供するだけでなく、高度なデータ監視機能も備えています。リアルタイムおよびポストデータログ機能を備えているため、将来のレビューや分析のためにデータを収集および保存することができます。これにより、生産環境と研究開発環境の両方に理想的な選択肢となります。全体として、PROMETRIX Frame for RS-55は、ウェーハテストと計測のための強力で信頼性の高いプラットフォームです。その洗練されたマルチセンサのopto-mechanicalプローブヘッド、デュアルパススキャン技術、自動ウェーハハンドリングマシン、包括的なデータ監視機能により、幅広いアプリケーションに対応する汎用性の高いツールです。
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