中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9379558 を販売中
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ID: 9379558
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 1997
Patterned wafer inspection system, 6"-8"
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT Iは、高度な検出およびプロセス制御ソリューションをユーザーに提供しながら、最高の精度と速度を提供するように設計されたウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、直径200mmまでのウェーハの自動検査とテストが可能な光学および機械的ユニットを統合したものです。KLA AIT Iの最も有利な機能は、非常に高いレベルの精度で詳細なデータを提供することです。ダークフィールド、高輝度ライト、斜めなどの照明技術を組み合わせて使用し、重要な欠陥をサブミクロンレベルまで特定します。このマシンは、サイズ、形状、存在、プロファイルなどのさまざまな機能寸法を検出するのに十分な汎用性があります。さらに、複雑なアルゴリズムを使用して、ウェーハの欠陥を正確に特定し、定量化します。TENCOR AIT Iツールは、ユーザーに自動化されたプロセス制御ソリューションを提供するための専用ソフトウェアでプログラムされています。このソフトウェアパッケージは、強化された検出機能とデータの一貫性をユーザーに提供するように設計されています。プロセスのフェーズを監視し、特定のプロセスの問題に起因する可能性のある欠陥を検出することができます。また、動的な制御機能も備えているため、ユーザーはプロセス最適化のための設定を調整できます。このアセットは、ユーザーにさまざまな高度な計測機能を提供します。渦電流、接触リソグラフィ、ピエゾフォース、音波振動など、さまざまなウェーハ試験および計測プローブと互換性があります。非常に小さなナノスケールの特徴からミクロンレベルまで、幅広い特徴を測定することができます。また、必要に応じてトレンドを迅速に検出し、是正措置を講じることができます。AIT最新のグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用して、モデルを使いやすくナビゲートできます。これにより、オペレータのトレーニング時間を劇的に短縮し、テストのスループットを向上させることができます。直感的なインターフェイスにより、ユーザーはテスト結果にすばやくアクセスし、データを並べ替え、テスト設定をカスタマイズできます。結論として、PROMETRIX AIT Iは、最高の精度と速度を求めるユーザーにとって理想的なウェーハテストおよび計測機器です。自動化された検査、高度なプロセス制御、計測機能を組み合わせることで、ウェハテストアプリケーションに最適です。
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