中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9221583 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT Iは、KLA CorporationとTENCOR Corporationが開発したウェハテストおよび計測機器です。半導体ウェーハの高速・高精度分析を目的としたシステムです。ウェーハの線幅、平坦度、オーバーレイアライメント、表面トポロジーを測定し、精度と再現性に優れた自動ウェーハ検査・計測ユニットです。KLA AIT Iは、Total Measurement Software （TMS）やApplications Programming Interface （API）などの独自技術を使用して、正確かつ再現性の高い結果を提供します。このマシンには、TMSおよびAPI機能を統合したウェーハ分析センター（WAC）があり、センサおよびイメージングヘッド、ネットワーク化されたデータ収集ハブ、およびウェーハハンドラなどの他のコンポーネントが含まれています。センサーとイメージングヘッドは、さまざまなスキャン幅、サンプリング密度、および測定機能を備えたウェーハのスキャンと測定に充電結合デバイス（CCD）を使用します。ネットワークデータ収集ハブは、センサおよびイメージングヘッドからデータを収集および分析し、品質管理のためのウェハ特性のグローバルマップを正確に生成します。ウェーハハンドラを使用すると、TENCOR AIT Iツールを移動してウェーハを正確に配置し、エッジ検出と測定を行うことができます。TMS （Total Measurement Software）は、センサおよびイメージングヘッドの制御、収集されたデータの表示、および必要に応じてプリンタまたはコンピュータへの測定結果のストリーミングを担当します。TMSには、欠陥メトリクスツールを備えた線形および非線形近似や、ウェーハの適合性を決定するためのフィーチャプロッタも含まれています。Application Programming Interface （API）は、CAD、可視化、データ収集、ウェーハ製造システムなどのさまざまなサードパーティ製システムに接続します。これにより、TMSをユーザーの既存のアーキテクチャに簡単に統合できます。APIにより、開発者はさまざまな環境でカスタムウェーハ解析ソフトウェアを作成および開発することができます。全体として、この資産は高精度で信頼性の高いウェーハテストおよび計測モデルです。その再現性と精度、さまざまな機能とコンポーネントを組み合わせたPROMETRIX AIT Iは、ウェハの品質管理に最適です。