中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9139695 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT Iは、ウェーハの正確で信頼性の高い測定を提供するように設計された包括的なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最小限の時間と労力で、薄いウェーハと厚いウェーハの両方の非破壊試験と測定を行うことができます。このユニットは、高度な技術とアルゴリズムを使用して、表面の特徴や微小欠陥から結晶構造欠陥までの欠陥を検出して特定します。また、ウエハテストの結果を分析および報告するための統合ソフトウェアツールも含まれています。機械の中核には、特許取得済みのKLA自動検査ツール（TENCOR AIT）があり、ウェーハ試験および計測用に特別に設計されています。PROMETRIX AITは、差動イメージング技術を使用してサーフェスフィーチャーを3nm以内の精度でマッピングし、組み込みの高度なアルゴリズムは、最小の欠陥を検出して識別することができます。このツールはまた、自動光学計測のための高度なアルゴリズムを統合し、ウェーハの形状と厚さを迅速かつ正確に測定することができます。このアセットには、KLA/TENCOR/PROMETRIX Micro Imaging Program （TMIP）も搭載されています。TMIPを使用すると、ユーザーは特定のウェーハテストアプリケーションの特定のニーズに合わせてカスタマイズできるカスタム欠陥検出プログラムを作成できます。これらのカスタムプログラムはKLA AIT上で自動的に実行されるため、ユーザーの介入を最小限に抑えながら迅速かつ一貫したウェーハテストが可能です。TENCOR AITモデルは、TMIPユーザーインターフェイスと高度な統計解析ツールを補完します。この機器には、強力なトレンド分析と統計レポートを生成できる統合ヒストグラムエンジンが含まれています。これらのレポートでは、ウェーハ表面の粒子密度や欠陥の均一性などの欠陥の発生率について詳細な推論を行うことができます。KLA AIT Iは、半導体デバイス製造、フォトリソグラフィー、エッチングなど、さまざまなウェーハ試験および計測アプリケーションに最適です。このシステムは、オペレータの介入を最小限に抑えて非常に正確な結果を提供することができ、高品質のウェーハの製造において貴重なツールとなります。