中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #293595751 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT Iは、プロセス制御を改善し、半導体デバイスの生産におけるコストを削減するのに役立つウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、光学および電気計測技術を使用して、ウェーハおよびダイ特性を低ノイズかつ高精度かつ高速で測定します。このユニットは、スキャン領域の光学測定、欠陥の非破壊測定、およびプロセスのスループットへの影響を最小限に抑えた他のプロセスを実行します。このマシンは、テストチャンバー、測定アーム、データプロセッサなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。試験チャンバは、騒音を低減し、測定精度を向上させるために特別に設計された環境です。試験チャンバーには、光源、カメラ、ビームスプリッタが含まれています。光源はウェーハとダイ部品を照らします。カメラは、コンポーネントによって反射された光の画像をキャプチャし、測定アームに送信します。照明光源によって生成される光パターンは、事前に定義された参照パターンと比較され、差異を検出および定量化します。測定アームには、得られた画像を測定するセンサーが配列されており、分析のためにデータプロセッサに送信されます。データプロセッサは、測定アームから収集した情報を処理し、結果を生成します。定量的な測定と欠陥検出を含む結果は、通常、後で検索および分析するためのデータベースに保存されます。このツールはまた、プロセス制御を改善するためのさまざまな機能を提供します。例えば、アセットは裏面検査をサポートしています。これは、品質問題のためにダイの裏面を分析します。さらに、ユーザーはカスタムの欠陥タイプとデータバンクを作成できるため、より複雑な欠陥を簡単に特定できます。さらに、ユーザーは高度なアルゴリズムを使用して測定の精度を向上させることができます。全体として、KLA AIT Iは強力なウェハテストおよび計測モデルであり、製品の品質を測定する信頼性が高く効率的な方法をユーザーに提供します。低ノイズで高精度な測定と複数の機能により、プロセス制御を大幅に改善し、コストを削減できます。
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