中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9394280 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、最先端の光学と高度な分析を組み合わせ、ウェーハの物理的および電気的特性をこれまでにない速度と精度で測定する画期的なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、半導体、MEMSデバイス、集積回路、およびその他のウェハベースのアプリケーションに使用される材料の製造または研究レベルの分析に使用されます。KLA 7600サーフスキャンユニットは、自動ウェハハンドリングマシンを備えており、各機器とサブシステム間でウェハーを迅速かつ正確に輸送します。これにより、迅速なテストとデータ収集が容易になり、従来の手動手法よりもはるかに早いプロセス異常の検出が可能になります。さらに、このツールには、分析が制御された環境で行われることを確実にするために、統合された環境制御を備えた現場のクリーンルーム資産もあります。このモデルの計測機能には、ウェーハのトポロジーを測定し、ステップの高さと表面粗さの問題を特定するために使用される高度な3Dプロファイル顕微鏡が含まれます。また、オプティカルスプレッドスペクトル（OSS）イメージング装置を備えており、特徴サイズや形状、微粒子の変化を検出することができます。さらに、ウェーハ表面の粒子汚染を測定するために使用される軽い散乱ユニットを備えており、プロセス中の潜在的な汚染源を特定することができます。最後に、TENCOR 7600 Surfscanマシンはウェーハの電気特性を測定することができ、生産に欠陥がないことを保証します。このツールは、リアルタイムでデータを表示および分析するために使用できるソフトウェア機能も強化されています。研究や生産を行うユーザーのために、ソフトウェアは、迅速かつ簡単に発見し、プロセスの欠陥を識別するために、詳細な分析と実用的な推奨事項でレポートを生成することができます。さらに、この資産はSEMI規格に完全に準拠しており、正確なデータ収集とレポート作成が可能です。要するに、7600 Surfscanは強力で信頼性の高いウェハテストおよび計測モデルであり、研究および生産アプリケーションに適しています。高度な光学系とアナリティクスを組み合わせることで、欠陥の迅速かつ正確な特定と分類が可能になり、品質保証が向上します。