中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9377353 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、半導体製造プロセスで使用するために設計されたロボットウェーハ解析装置です。優れた信頼性と再現性を備えた試験および計測が可能です。モジュラー設計で構築されたKLA 7600 Surfscanは、ユーザー固有のニーズに合わせて適応できる複数のコンポーネントから構成されています。このシステムは、高度な5DOF Ekpyrotic Probeを使用して、ウェーハの表面地形をマッピングおよび分析します。プローブは、深い、高速、正確なスキャンと計測が可能です。450mmの作業領域と100 μ mのステップ分解能を備えたEkpyrotic Probeは、比類のない精度と速度を提供します。高精度の機械部品は正確なテストおよび測定のための精密な動き制御を提供します。回転テーブルトップにより、測定および分析時にウエハの位置を最適に保つことができます。高トルク、高精度のDCモータによって駆動され、精密なサーボ制御ループを介して管理されます。すべての生の測定データは、7600ソフトウェアによって提供されるSQLデータベースに収集され、保存されます。この包括的なストレージユニットは、数百万点の独自および標準スキャンデータセットを格納できます。SQLデータベースの柔軟性と拡張性により、高度なデータ分析と操作が可能になります。TENCOR 7600サーフスキャンは、カスタムアルゴリズムを使用して信頼性の高い計測データを生成します。スキャンアルゴリズムは、ユーザー定義のパラメータに従って輪郭を開始、測定、追跡します。ウェーハデータは期待値と比較でき、測定中の異常をすばやく特定できます。このマシンは、簡単な操作とサポートのためのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。7600ソフトウェアと統合されたGUIにより、ユーザーは設定をカスタマイズしてデータを分析し、より深い洞察を得ることができます。さらに、GUIは、ユーザーが複雑なテストを簡単に実行し、ツールの進捗状況を監視するためのステップバイステップの指示と視覚的なフィードバックを提供します。PROMETRIX 7600 Surfscanは、ウェーハテストと計測のための汎用性と強力なツールです。高度なロボットスキャン、カスタマイズ可能なアセットモジュール、高精度モータ、直感的なソフトウェアスイートにより、高精度のウェーハ解析に最適です。