中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9299452 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、高度な技術プラットフォームを備えたウェハテストおよび計測機器で、幅広い半導体およびオプトエレクトロニクスアプリケーションで重要な検査、特性評価、プロセス制御を可能にします。このシステムは、走査型電子顕微鏡（SEM）モジュールと原子力顕微鏡（AFM）モジュールの2つのモジュールで構成されています。SEMモジュールは、高解像度のイメージングと自動測定を提供し、ウェーハトポグラフィと表面欠陥の詳細な分析を可能にします。ミクロンレベルの表面欠陥を検出し、ステップハイト、エッジの粗さ、センターラインの粗さなどのフィーチャープロファイルを測定および分析できます。AFMモジュールは、周囲および真空条件で動作し、ナノメートルレベルの解像度で原子レベルの解像度イメージングを提供します。これは、プロセス開発、生産監視、故障解析をサポートするために、表面およびナノ構造の特性評価に使用することができます。KLA 7600 Surfscanは、自動化されたアライメント、スキャン、測定、データ分析機能により、ウェーハ計測を合理化するように設計されています。このユニットには、高速で正確で安全なウェーハハンドリングマシンが含まれています。高解像度カラーCCDカメラと電動XYステージを搭載し、再現可能な精度でウェーハを所望の位置に素早く移動させることができます。また、顕微鏡対物レンズを最適な設定に変更できる自動レンズチェンジャーとフォーカスメカニズムを搭載し、より高い分析精度と再現性を実現しています。さらに、TENCOR 7600 Surfscanには、チャート、編集、レポート機能を備えた成果物データを収集および分析できる強力なデータ処理アセットが含まれています。全体として、7600 Surfscanは、高度な技術、安全なウェハハンドリング、高度なデータ処理を組み合わせた強力なウェハテストおよび計測モデルであり、迅速かつ正確な欠陥解析および故障解析を可能にします。この装置は、表面の欠陥やナノ構造を検出および特性評価し、幅広い半導体およびオプトエレクトロニクス用途における重要なプロセス制御を可能にします。