中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9274943 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、ウェーハトポグラフィと形態学の測定と検査を自動化されたプラットフォームと組み合わせたウェーハテストおよび計測機器です。高度な計測ハードウェアとソフトウェアの革新を利用して、プロセスエンジニアに再現性と信頼性の高い結果を提供します。Surfscan 7600は、半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽光発電など、さまざまな業界で使用される汎用性の高いシステムです。KLA 7600 Surfscanは、タッチレス光学ユニットと非接触表面測定技術を組み合わせ、高解像度で再現可能な地形測定と画像を提供します。高解像度CCDカメラを使用して、サンプルの表面プロファイルの水平方向と垂直方向の両方で最大200枚の画像をキャプチャします。さらに、8軸の自動サンプルステージを搭載し、サンプル全体を高精度にスキャンできます。この自動スキャンと非接触光学プロファイリングの組み合わせにより、メカニカルユーザー入力なしで異種サンプル間で高速で高精度なトポロジー測定が可能になります。分析のために、7600は3Dプロファイル解析のための一般的なSP3Dソフトウェアを含む複数の分析パッケージを備えており、粗さ分析のためのMV3Dを備えています。並列アーキテクチャを利用して、SP3Dは、ステップハイト、焦点の1つまたは複数の深さでのイメージング、欠陥、バンプ、フィーチャー領域、および偏差などの測定のためのデータを迅速に処理します。また、Surfscan 7600は、統計データの収集と分析のためのさまざまな業界標準の計測ソフトウェアパッケージをサポートしています。TENCOR 7600サーフスキャンは、計測機能を強化する多くの実用的な機能を備えています。ワンタッチオートアライメント、自動サンプルスキャン、精密なx-y-zプロファイリング、複数のサンプルサイズのデータを許可するベッドエリアなどの機能。さらに、7600には、温度と相対湿度にわたるサンプルプロファイル測定の安定性を確保するための内部環境制御ツールが付属しているため、資産は多様な地域や気候にわたって正確な測定を行うことができます。最後に、7600はソフトウェア駆動のサンプル処理モデルを備えており、ウェーハの手動処理と自動処理の両方を可能にします。全体として、7600 Surfscanは、異種サンプルの地形特性を測定および検査するために独自に設計された高度なウェハテストおよび計測機器です。プロセスエンジニアに信頼性の高い再現性のある結果を提供し、競合他社とは一線を画したハードウェアとソフトウェアのイノベーションを組み合わせています。高解像度のイメージング機能、包括的な解析パッケージ、および温度/湿度安定性により、さまざまな業界で貴重なツールとなっています。