中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9250108 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、半導体デバイスおよび集積回路の製造に使用される完全自動ウェーハ試験および計測装置です。このシステムは、地形、配置、均一性、厚さ、形状などのデバイス特性を包括的に測定することができます。KLA 7600 Surfscanには、高度な光学技術、モーション、イメージング技術が搭載されており、極めて精度の高いサンプルウェーハの周りの非常に小さなスケールにイメージャを移動させることができます。TENCOR 7600サーフスキャンは、1 nmの解像度でデータをキャプチャすることができ、その測定に高精度を提供します。このユニットは、サンプルの要件に合わせてダイナミックレンジの光の強度を提供する複数の照明源を備えています。ウェーハ表面全体にビームをスキャンすることができるフルレンジの光学顕微鏡を備えた7600 Surfscanは、サンプルの高分解能の地形図と形態図を生成します。このマシンには、複雑なデータセットの分析とウェーハの微細構造の正確な決定を可能にする高度なソフトウェアアルゴリズムとフィルタの範囲もあります。PROMETRIX 7600サーフスキャンには、ウェーハの向きを変える2つのロータリーステージオプション、レーザー回折、散乱計、干渉計、3次元プロファイラなどの幅広いレーザー測定ツールなど、多くの高度な機能が含まれています。このツールには、モデルからウェーハをロードおよびアンロードするプロセスを合理化する自動ウェーハハンドリングアセットも含まれています。統合されたAutoFocus機能により、ウエハは常に最適な平面に収まり、超高精度の測定が可能です。KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanの人間工学に基づいた設計には、オペレータが機器の性能をリアルタイムで監視できる、アクセスしやすいディスプレイが含まれています。大きなタッチスクリーンディスプレイは、検査プロセスに関する注釈付き情報と統計情報を備えたウェーハ表面を明確に表示します。さらに、KLA 7600 Surfscanには一連の診断ツールと組み込みのテストシステムがあり、包括的なシステムパフォーマンス検証を可能にし、ユニットが常にその仕様に従って動作していることを保証します。TENCOR 7600 Surfscanは、信頼性が高く、強力で正確な機械を探している半導体メーカー、研究所、研究センターにとって優れた選択肢です。集積回路やその他の半導体デバイスの品質管理に不可欠な、正確で迅速なウェハテストと計測を行うことができます。