中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9227522 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、ハイスループットおよび品質管理アプリケーション向けに設計されたウェハテストおよび計測機器です。高度な光学、センシング、画像処理技術を使用して、ウェーハ表面の臨界寸法（CD）およびトポグラフィを正確に測定し、製造メーカが生産欠陥を検出し、重要なデバイス層の特徴を検証し、オーバーレイ精度を測定することができます。このシステムは、電動光顕微鏡、2つの高解像度レーザー、デジタルカメラ、および統合ソフトウェアスイートで構成されています。この顕微鏡は、直径9インチまでのウェーハ表面の検査と画像処理に使用されます。レーザーは複数の領域で特徴を測定し、最大0。25マイクロメートルの垂直分解能を提供します。カメラは12MPカラーイメージをキャプチャして欠陥を確認し、ソフトウェアスイートはCDやフィルム測定、リアルタイム画像比較などの強力なリアルタイム解析機能を提供します。KLA 7600 Surfscanは、最大0。25マイクロメートルの解像度でフィルムやデバイスを測定することができ、製造メーカーは生産欠陥を正確に検出し、最適化されたプロセスフローを開発し、高収量デバイスロット最適化（DMO）プログラムを作成することができます。また、このユニットは信頼性が高く、バックグラウンドノイズを最小限に抑え、比類のない精度と再現性を提供します。TENCOR 7600サーフスキャンは、ウェハテストおよび計測アプリケーションに最適で、高精度の結果を迅速かつ確実に提供します。使いやすく統合されたソフトウェアスイートは、データ収集、統計プロセス制御（SPC）、高度な分析に最適化されており、ユーザーはウェーハ表面を迅速かつ効率的に検査および分析することができます。さらに、先進的な光学技術、高解像度レーザー、堅牢なソフトウェア、複数の基板のサポートを組み合わせることで、ウェーハ試験および計測アプリケーションで一貫した高品質の結果をコスト効率よく達成できるようになります。