中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9137281 を販売中

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan
販売された
ID: 9137281
ウェーハサイズ: 6"
Patterned wafer surface inspection system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、集積回路(IC)の電気的、光学的、機械的特性を測定するために使用される高性能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、さまざまなウエハ基板に対して包括的かつ再現性のある検査および測定機能を提供し、抵抗率、容量、欠陥、均一性、線幅、3D高さなど、さまざまな種類のICの測定オプションを提供します。KLA 7600 Surfscanは、最先端のCCDカメラとコンピュータ制御ステージシステムを備えた高解像度の横型スキャン顕微鏡(LSM)を内蔵し、ナノメートルレベルのウェーハの迅速な検査と測定を提供します。横軸は1ナノメートル、縦軸は1ナノメートルの精度で、測定結果の再現性と精度が高くなります。さらに、TENCOR 7600 Surfscanは、3次元イメージング、複雑なオーバーレイ設計、高解像度信号処理などの高度なイメージング機能を提供します。7600 Surfscanは、信頼性の高いパフォーマンスを確保するために、空気作動ウェーハ位置決め機やマルチレベルのダイナミックステージツールなど、多くのハイテク部品で設計されています。空気作動ウェーハの位置決めアセットにより、1マイクロメートル以内にウェーハを正確に手動で自動配置することができ、より高い精度とスループットを実現します。マルチレベルダイナミックステージモデルは、関心のある領域にピンポイントで焦点を当てた3次元スキャンを可能にし、効率を最大化するために高い焦点深度と高いスキャン速度を提供します。PROMETRIX 7600 Surfscanには、自動欠陥レビュー装置も装備されており、エンジニアはスキャンウエハの潜在的な欠陥を迅速にレビューして特定することができます。このシステムは、半秒未満でフルセットの画像をキャプチャすることができ、サイズと明るさに基づいて欠陥をグラフィカルに表現し、エンジニアが潜在的な問題領域を迅速に調査および診断することができます。さらに、KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを含むいくつかの制御オプションを提供しています。さらに、このマシンは業界をリードする計測プラットフォームと互換性があり、結果が業界標準と互換性があることを保証します。全体として、KLA 7600 Surfscanツールは強力で汎用性の高いウェハテストおよび計測ツールであり、エンジニアはIC欠陥を迅速かつ正確に検出および診断し、可能な限り最高水準の品質を保証します。この資産は高度なイメージング機能を提供し、エンジニアは潜在的な問題を効率的かつ費用対効果の高い方法で特定することができます。
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