中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9073508 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600サーフスキャンシステムは、小型電子構造のプロービングおよび表面特性評価用に設計されたウェーハ試験および計測装置です。最新の電子デバイスの効率的で信頼性の高い生産に不可欠な製造プロセスを監視するための詳細なデータを提供します。KLA 7600サーフスキャンは3つの主要なコンポーネントで構成されています。Analyzer Station、 Optical Metrology Station、およびWafer Chuck Stage。アナライザステーションは、デュアルチャネル電気測定を担当するアクティブヘッドと、電気特性ではなく膜厚を測定するために使用されるパッシブヘッドの2つの表面から構成されています。光メトロロジーステーションは、表面の地形を測定するために使用され、高分解能のパターンを評価して最適化することができます。ウェーハチャックステージは、ウェーハの正確な配置とアライメント、および蓋から基板への接触を保証する追加コンポーネントです。TENCOR 7600 Surfscanは、他の多くのコンポーネントも備えています。これには、高周波シート抵抗モジュール、TTV解析、オートメーションツール、および光学粒子検査および二次イオン質量分析が含まれます。高周波シート抵抗は、薄膜層のシート抵抗を測定し、電気特性を最適化するために使用することができます。一方、TTV Analysisモジュールは、複数のウェーハにわたる表面トポグラフィの詳細なビューを提供し、ウェーハとウェーハの比較のためのより迅速で効率的なプロセスを開発します。オートメーションツールを使用すると、複数の解析パターンと特性評価パターンをロードできます。最後に、二次イオン質量分析法では、原子と分子を質量で分離し、容易かつ効果的な汚染分析を行います。PROMETRIX 7600サーフスキャンシステムは、さまざまなウェーハテストおよび計測ニーズに対応する包括的で高品質なソリューションを提供します。デバイスの精度とオートメーション機能の向上により、現代のエレクトロニクスにおける欠陥の検出に最適なソリューションであることが証明されています。