中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #293594317 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、ウェーハサーフェスの高速、正確、効率的なテストを可能にするウェーハテストおよび計測機器です。ウェーハ表面の非常に小さな欠陥や異常を検出するように設計されており、ウェーハの生産品質に関する詳細で信頼性の高い洞察を提供します。Surfscan 7600は非接触測定機能を備えており、表面欠陥解析を非破壊的に行うことができ、サンプル処理に非常に効率的なサンプルが得られます。このシステムは、業界をリードするSurfscan 7500ソフトウェアプラットフォームを使用して、ステップの高さ、表面粗さ、波長、プロファイル測定など、幅広い表面特性の迅速でピクセル精度の測定を提供します。付属のCCDオプティカルプロファイルとピッチ測定ユニットは、非常に高解像度で高速で正確な測定を提供し、微細な欠陥を検出することができます。スケーラブルな顕微鏡検査機能により、測定の精度がさらに向上し、手動入力を必要とせずに目視検査とレビューが可能になります。このツールには、欠陥位置とタイプのリアルタイム表示を提供するKLA Wafer Map Reporterも装備されています。これにより、分析を高速化し、データ入力エラーを最小限に抑えることができます。さらに、統合されたDefect Map Editor (DME)により、欠陥マップと顕微鏡スライドの自動生成が可能になり、欠陥カウントのさらなる分析と正確な組成が可能になります。さらに、不良箇所と化学組成との自動相関が特徴です。これは、誤った欠陥と本物の欠陥を分離するのに役立ち、表面に化学的指紋を提供します。これにより、結果の精度と再現性が向上します。KLA 7600 Surfscanは、あらゆるウェハ生産環境での使用に最適な強力なウェハテストおよび計測モデルです。統合されたハードウェアとソフトウェア、精度と速度、スケーラビリティ、および自動欠陥解析を組み合わせることで、半導体業界の専門家に好ましい選択肢となります。
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