中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #9255577 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscanは、ウェハレベルの試験および測定用に設計された表面解析および計測機器です。ウェーハの厚さ、欠陥位置、表面粗さなど、複数のアプリケーションを通じて信頼性の高い正確な測定を提供できる汎用性の高いウェーハマッピングツールです。光学および非接触原子力顕微鏡（NCAFM）を使用して、0。1 nmから3+mmまでの範囲で4X以上の分解能の測定を提供するように構築されています。このシステムは、高速画像取得ユニットを備えたWindows PC上で動作し、画像データをキャプチャし、データ取得中の測定をリアルタイムで処理することができます。サーフスキャン7200は、光学顕微鏡（OM）と非接触原子力顕微鏡（NCAFM）を組み合わせて、ウェハの表面形態に関する詳細なデータを提供します。NCAFMは、低温ナノメートル分解能力顕微鏡を使用して、2Dと3Dの両方で表面の高さ、粗さ、形状を測定します。NCAFMマシンにはZスキャナーが搭載されており、表面全体の高速スキャンを自動化し、正確な地形図を作成できます。OMツールは、高解像度カラーカメラとLEDバックライトを使用して、ウェハの表面詳細を表示および測定します。これは、Surfscan 7200がウェーハの表面を微細に測定することを可能にする2つのシステム間のインタフェースです。サーフスキャン7200は、2つの独立した測定軸と最大解像度0。1nmの直径6mmの範囲を持つX/Yステージを備えています。XYステージは、光学およびNCFFM測定アセットにウェーハを移動させて、詳細な3Dスキャンを行うことができます。このモデルには、カスタムオートメーション、測定、イメージング、およびデータ分析用のハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントも装備されています。Surfscan 7200には、インラインメトロロジーシステムに接続するためのAutoFocus、 Hot/Cold Decking、 DataLinkソフトウェアなどの追加のハードウェアおよびソフトウェアパッケージが含まれています。Surfscan 7200は、ウェハレベルの測定に最適化されたスキャン速度やサイズなど、事前に設定された実証済みのパラメータを提供することで、ユーザプログラミング時間を短縮する使いやすいソフトウェアを備えています。また、ユーザーは特定のアプリケーションの設定をカスタマイズすることができます。このソフトウェアは、表面地形、欠陥検査、フィーチャー分析など、詳細なデータ分析を生成することができます。さらに、ソフトウェアは、SEMI規格だけでなく、さまざまな国際規格に準拠しています。Surfscan 7200は、ウェハレベルの試験および測定用に設計された業界標準の計測機器です。これは、高速かつ効率的に高精度で信頼性の高い測定を提供する高度な技術で構築されています。統合されたハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントにより、ウェハレベルのテストおよび計測アプリケーションで使用される汎用性の高いプラットフォームとなります。