中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #9016550 を販売中
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ID: 9016550
ヴィンテージ: 1992
Patterned wafer inspection system
Model no. 194450
115 V, 2 phase, 60 Hz, 6 A
1992 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscanは、高度な精度と精度でウェーハの特性を測定するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ナノメートルレベルでウェーハの潜在的な欠陥を検出し、それらを正確かつ迅速に診断するように設計されています。KLA 7200 Surfscanユニットは、ハイエンド光学系、高度なアルゴリズム、新開発ソフトウェアにより、ウェーハの表面形状を完全性に影響を与えることなく検査および測定することができます。TENCOR 7200サーフスキャンマシンは、高精度ファイバーベースの干渉計、キネマティックサンプルアライニングステージ、ロボットハンドリングモジュール、および統合された品質管理ツールを備えています。この干渉計は、高度なリアルタイムデータ取得技術を使用して、3次元での非常に正確な測定を可能にします。そのキネマティックステージは、測定時にウェーハの最高精度と滑らかな動きを提供するように設計されています。ロボットハンドリングモジュールは、ウェーハを2軸で回転させ、サンプル配置領域に正確に移動させることができます。また、統合された品質管理資産により、検査プロセスを制御することができます。PROMETRIX 7200 Surfscanには、高度な光学モデル測定ソフトウェアパッケージも含まれています。このソフトウェアは、表面粗さ、ステップ高さ、深さ、角度測定など、測定データから幅広いパラメータを計算する機能を備えています。3Dイメージングも可能で、ウェハ全体の表面形状を一気に詳細に解析することができます。このソフトウェアはユーザーフレンドリーで、分析結果をすばやく簡単に理解することができます。全体として、7200 Surfscanウェーハ試験および計測モデルは、極めて精度と精度の高いウェーハを検査および測定するために設計された高度な機器です。最先端の光学系、ロボティクスハンドリングモジュール、ソフトウェアを備えており、現在市販されている最も強力なウェーハ検査システムの1つです。
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