中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #2304 を販売中

ID: 2304
Patterned wafer inspection system Repeatability: < 3% Mean count: 500 Particles Diameter latex spheres: 0.5um Resolution: 0.4um Diameter latex spheres Substrate: SEMI Thickness standard wafer 0.3 - 0.75 mm Substrate size: 100, 125, 150 & 200 mm Throughput: (22) Wafers / Hour (150 mm) (19) Wafers / Hour (200 mm).
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscanは、半導体ウェーハのハイスループット、非破壊検査および計測を可能にするように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度なテストおよび検査機能と現場で実証されたアルゴリズムと変数を統合し、ユーザーに最も正確なウェーハテストと計測結果を提供します。KLA 7200 Surfscanの高度な設計により、従来のプロセスが使用されている時間とコストのほんの一部で非破壊的なウェハテストと計測が可能になります。このユニットには、マクロ試験を行うために使用される最先端の光学顕微鏡マシン、粒子測定、エッチング深度測定、トポグラフィーマッピング、ライン幅の特性評価のための顕微鏡分析が装備されています。TENCOR 7200 Surfscanには、製造後すぐにICなどのコンポーネントを調べることができる低力ウエハプローブも付属しています。PROMETRIX 7200 Surfscanは高度に自動化されており、ウェーハテストと計測プロセスを合理化する多数の機能を備えています。これらの機能には、完全に自動化されたウェハハンドリングツール、自動粒子測定に使用される高解像度CCDカメラ、欠陥解析や現場検査に使用される高速データ収集資産が含まれます。このモデルはまた、自動光学検査を他の非常に高い倍率(VHM)およびバリア欠陥検査(BDI)機能と統合するなどのユニークな機能を提供します。性能面では、7200 Surfscanはウェーハのテストおよび検査機能のパックをリードしています。高精度アルゴリズムにより、精度、再現性、統計的信頼性が向上し、信頼性の高い試験結果が得られます。その高度な光学機器は、高解像度で正確な画像を生成します。また、低力ウエハプローブにより、高感度コンポーネントの損傷リスクを軽減し、テストサンプルの整合性を維持します。要するに、KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscanは、従来の方法と比較してわずかな時間とコストで正確かつ正確な結果を可能にするウェーハテストおよび計測システムです。その高度な技術と強力な機能により、完全で信頼性の高い半導体デバイス試験および計測に理想的なソリューションとなります。
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