中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9287498 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、高精度のウェーハ検査および是正プロセス制御のための高速、非破壊測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLA 6420サーフスキャンシステムは、高いスループットレートで高精度のウェーハ評価を提供する業界をリードしています。3軸振動アイソレーションテーブル、自動ウェーハローダー、5ミクロンイメージングマシン、大型高解像度カメラを搭載しています。イメージングツールは、1ピクセルあたり1ミクロンの画像をキャプチャすることができ、可能な限り最高レベルの表面欠陥を検出することができます。5ミクロンのワイドバンドレーザーは、最大150mmの範囲でウェーハを評価できます。また、Surfscan 6420には高度なプロセス制御アセットが統合されており、テストパラメータを自動的に調整し、測定結果を校正することができます。さらに、ウェーハ全体またはより大きな部品の迅速な検査を可能にする信頼性の高い自動ウェーハマッピング機能を備えています。この機器は高度なソフトウェアでユーザーフレンドリーであり、幅広い形式でデータ出力を提供します。測定ポイントや誤検出/ネガの数など、さまざまなグラフィカルディスプレイをユーザーに提供し、すべてをレポートファイルに出力できます。さらに、Surfscan 6420には複数のソフトウェアパッケージがあり、エッジパッシベーション、ライン幅の決定、ボアまたは穴の形状、レイヤーテストなど、さまざまなテストアプリケーションをサポートしています。Surfscan 6420は、テンプレートマッチング、フィットマッチング、スキャンラインフィッティングなどの多くのプロセスツールも提供しています。これらのプロセスツールは、パターンフィーチャーやプロセス関連のプロトコルを迅速に制御します。さらに、このシステムは既存の計測システムとシームレスに統合され、データの相互運用性と互換性を提供します。TENCOR 6420 Surfscanは、ウェーハテストおよび計測業界で最も信頼性が高く、強力なシステムの1つです。高精度で信頼性の高い迅速な試験結果を提供することができます。ユーザーフレンドリーなソフトウェアと堅牢なプロセスコントロールシステムは、テスト結果が信頼性と再現性の両方であるという自信をユーザーに提供します。