中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9287171 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、最先端のウェーハ試験および計測機器です。これは、ヒ素ガリウム、リン酸インジウム、絶縁体シリコンなど、さまざまなウェーハの正確で信頼性の高い表面測定を提供するように設計されています。KLA 6420 Surfscanは高度な光学系と高度なエレクトロニクスおよびモーションコントロールを組み合わせて、表面トポロジー、フィーチャーサイズ、および表面プロファイルを測定するための高精度の非破壊光学システムを生成します。TENCOR 6420 Surfscanには、532ナノメートル(nm)レーザーを使用して高解像度の画像を提供するクロマチック共焦点センサーが搭載されています。レーザーとセンサーの組み合わせにより、ウェーハ表面の高精度な立体像が得られます。この画像は、特徴サイズ、深さ、面粗さを含む精密な表面測定の基礎となります。PROMETRIX 6420 Surfscanは、カスタマイズ可能なソフトウェアスイートを備えており、ユーザーは正確なウェーハ測定のためのテストパラメータを構成することができます。これにより、ユーザーのテスト要件を最適化し、最も正確な結果を得ることが容易になります。ソフトウェアは、プリロードされた設定の選択だけでなく、ユーザーが特定のニーズに合わせてテストを調整することができます高度な機能の配列が付属しています。また、試験環境において一貫した温度と湿度レベルを維持することができる統合環境制御装置を搭載しています。これにより、環境条件に関係なく、結果の正確性が保証されます。さらに、6420 Surfscanは、直径12インチまでのウェーハに対応できる高精度のリニアクロスライドステージも備えています。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、多数の機能と利点を提供する高度なウェーハテストおよび計測ツールです。強力なソフトウェア、高精度なイメージング資産、および統合された環境制御モデルにより、ウェーハ表面を正確かつ確実に測定するための貴重なツールとなります。
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