中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9285832 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanはウェハテストと計測（WTM）装置で、全体的なプロセスのスループットが印象的な包括的なウェハ検査を提供します。このシステムには、MEMSおよび高度なCMOS技術の両方をサポートする可変ウェーハ検査オプションのKLA幅広いファミリが装備されています。これには、再現性、均一性、パフォーマンスなどの重要な問題に対処する最適化された設計が含まれています。6420は、自動化された光学検査および/またはダイレベルの表面測定の組み合わせで最大6台の検出器をサポートします。複数位置のXYステージモーションユニットを搭載しており、線形ステージなど様々な光学検査技術をサポートしています。実際、6420の光学ステージには、センサの正確なアライメントを確保するためのポイント・ツー・ポイント・アライメント・ソフトウェアも搭載されています。この最先端のアライメントソフトウェアは、高精度、フィールド歪みの低減、再現性の向上を提供します。KLA 6420 Surfscanには、基板の忠実度と工具寿命を向上させるための統合基板処理機もあります。独自のAuto-WideFieldアセットを搭載しており、ユーザーはステージのぐらつきをさらに減らし、基板のセンタリング精度を向上させることができます。これにより、プロセス全体でより正確な測定が保証されます。オートワイドフィールドモデルは、TENCOR Laser Interferometric Overlay Equipment （LOMS）によって補完され、オーバーレイ性能が大幅に向上します。さらに、TENCOR 6420 Surfscanは、包括的なデータ収集、分析、可視化、レポート機能を備えています。この強力なソフトウェアパッケージにより、ユーザーは迅速かつ簡単にデータを分析および表示し、プロセス最適化スクリプトを実行することができます。6420は完全に自動化されたシステム制御もサポートしており、既存のファブプラントにシームレスに統合することができます。PROMETRIX 6420 Surfscanは、優れた機能と最先端技術を提供する高度なWTMユニットです。その包括的な機能と信頼性により、さまざまなウェーハ検査および計測アプリケーションに理想的なマシンとなります。6420は生産効率とスループットを大幅に向上させ、優れた投資収益率を実現します。