中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9254828 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420サーフスキャン装置は、包括的なウェーハ表面特性評価を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測システムです。具体的には、PSA （Power Signature Analysis）、高さキャリブレーション、静電容量、導電率、臨界寸法（CD）、粗さ、均質性、散乱、線幅のバリエーションなど、幅広い種類のサンプルサイズと複雑性を備えたフィルムおよびトポグラフィー測定を提供します。6420は、最速かつ最も正確なウェーハ表面試験を可能にするように設計された統合ユニットです。Metrology Stabilization （MSC）テクノロジーと業界をリードするProScanを組み合わせており、原子レベルのプロファイル測定を正確かつ迅速に行うことができます。特許取得済みのアルゴリズムを使用して、6420は0。2nmの空間分解能と1〜2nmの垂直分解能を備えた正確な表面特性評価機能を提供します。このマシンは、パッド、トレンチ、ビア、ゲートなどの重要な機能を自動的に検出するだけでなく、エッジ検出機能を提供することもできます。6420は、さまざまな機能セットと測定方法を備えたさまざまなセンサーを備えた統合ツールです。これらには、傾斜パターン、非均一パターンおよび曲線パターン、マルチレベル測定、または単波長および多波長PSA測定の両方のソリューションが含まれます。また、セルフキャリブレーション、ウォーターディッピング、キャリブレーションライン、手動パッドスキャンなどのさまざまなキャリブレーションモードも提供しています。6420は、3nm以下のフラクショナルビューの不確実性により、業界をリードする測定の再現性を提供します。KLA 6420 Surfscanは直感的で使いやすいアセットで、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとグラフィカル分析ツールを備えています。また、カスタマイズ可能な設定で高度に構成可能であり、ユーザーはモデルを正確なニーズに合わせて調整することができます。6420は、高度な機能の印象的な範囲を備えており、ウェーハテストのための優れた汎用性を提供します。ウエハ表面の詳細な特性評価が必要な製造ラインやラボに最適な装置です。