中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9254029 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、半導体製造用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。これは、高度なリソグラフィープロセスの欠陥を検査および分析し、ウェーハ表面のパラメータを測定および定量化するために特別に設計されています。Surfscan 6420は、完全自動化されたウエハハンドリングシステム、高解像度イメージングユニット、および高解像度イメージングを可能にする特許取得済みのビームシフト技術で構成されています。このマシンは、非接触光学検査を最大45mm実行することができ、また、300mmまでの任意のサイズのウェーハの表面パラメータを測定および定量することができます。このツールはさらに、さまざまなサイズの欠陥を確実に見つけることができる高度なソフトウェアと、再現性と信頼性の高いデータを提供する自動測定ルーチンを備えています。アセットは、高解像度のイメージングを使用して、粒子、傷、印刷異常などの欠陥を検出します。その後、画像を許容テンプレートと公差と比較する自動画像処理モデルを使用して画像を分析します。この機器には、ユーザーがカスタム測定および分析アプリケーションを作成するためのソフトウェア開発キットも含まれています。欠陥検出機能に加えて、Surfscan 6420はパターンオーバーレイと最適化された輪郭処理ツールを備えています。これにより、直線エッジの粗さ、ステップ高さ、幅、サイドウォール角度など、さまざまなパラメータを正確に測定できます。システムの自動ソフトウェア検出アルゴリズムは、ウェーハ全体または個々のダイ間でこれらのパラメータを測定し、結果を読みやすいグラフで定量化することができます。全体的に、KLA 6420 Surfscanは強力で高度なウェーハテストと計測ユニットです。これは、最も厳しい業界標準を満たすように設計されており、半導体の欠陥の検出と測定に精度と精度を提供します。Surfscan 6420は、完全に自動化されたプロセス、使いやすいソフトウェア、高解像度イメージングにより、半導体メーカーにとって非常に貴重なツールです。