中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9249745 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、一連の高解像度カメラとレーザーを使用してさまざまな検査および測定タスクを容易にする洗練されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、欠陥検出、プロセス制御監視、オーバーレイ測定など、さまざまなアプリケーションに使用できます。その高度な光学およびイメージングシステムにより、非常に小さな欠陥を検出し、プロセス工程の健全性を正確に監視することができます。傾きと回転補正技術を使用して、KLA 6420 Surfscanはピンポイント精度で結果を得ることができます。また、ウェーハの表面形状の変動に対応するため、イメージングを素早く調整できる自動フォーカスコントロールを搭載しています。TENCOR 6420 Surfscanには高度な欠陥レビューソフトウェアがあり、すべての欠陥を単一のモニターでその場でレビューできます。レビューステーションは欠陥を検証し、完全なトレーサビリティと包括的な品質管理を可能にします。複数のビューと自動化されたクイックビューの最適化の組み合わせを使用して、欠陥のレビューをより簡単に、より速く、より効率的にします。さらに、6420 Surfscanには、フルフィールドオーバーレイ測定、フォーカス測定、ウェーハステップ間の測定などのプロセス制御機能も統合されています。これにより、プロセスの変更や異常の可能性を迅速に特定し、特定することができます。また、機械には多くの自動化機能があり、操作が簡単になります。アライメント、検査、測定、その他のさまざまな機能を完全に自動化しており、広範なトレーニングなしで使用できます。また、直感的なトップレベルのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、ユーザーが簡単にコントロールできます。PROMETRIX 6420 Surfscanは非常に強力なツールで、プロセスと製品制御を容易にするための信頼性の高い結果を提供します。その印象的な機能と機能の範囲は、多くの異なるユースケースに最適です。それは時間の後で非の打ちどころのない結果を提供でき、オペレータは製造環境の効率そして質を最大にすることを可能にします。