中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9238556 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、高度なウェーハ検査および計測要件の厳しいニーズを満たすように設計された包括的なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、重要なプロセス制御アプリケーションのための包括的で統合された信頼性の高いプラットフォームを提供します。Surfscan 6420は、高度な計測技術を使用して包括的なウェーハ情報を取得し、完全な均一性分析、オーバーレイ、線幅、膜厚マッピング、輪郭測定を提供します。0度から85度のアグレッシブな角度を撮影し、微妙な深さのディテールに相対的に簡単にアクセスできます。さらに、ハイエンドスキャンヘッドを搭載し、2つの平行視野に焦点深度を拡張し、高解像度スキャナを提供します。このマルチチャネルマシンは、0。1 μ mの解像度で、1時間以内に150個のウェーハサンプルを測定できます。Surfscan 6420には、高度なオートメーション機能と高精度測定のための真のガウシアンフィルタリングも含まれています。インテリジェントなエッジ検出アルゴリズムとさまざまな高度なオートフォーカス技術を使用して、正確な測定結果を提供します。その他の機能としては、精密な表面形状測定用の自動光計測ツール、自動光誘電率（PDC）測定モジュール、および自動表面形状解析があります。この資産は、アップグレード可能なソフトウェア、ハードウェア、およびアクセサリを備えた、柔軟性が高く将来性があります。さらに、このモデルはサードパーティのアプリケーションとインタフェースし、イーサネットネットワーク上でリモート操作を実行できます。これは、リモートの最適化、サポート、およびメンテナンスに役立ちます。全体として、KLA 6420 Surfscanは、高度なウェハテストと計測要件に最適です。信頼性と精度が高く、包括的で自動化された解析機能を提供します。これは、さまざまなサードパーティ製アプリケーションと互換性があり、将来性があり、遠隔操作を拡張するためのネットワーク可能です。