中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9237482 を販売中

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ID: 9237482
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Measurement system, 8" With monitor SMIF Loader Open cassette type 1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、高度なウェーハ試験および計測にソリューションを提供するように設計された高度な検査および計測プラットフォームです。高精度な表面検査と3Dイメージング機能を組み合わせることで、製造工程の各段階でのウェーハ性能の監視・分析が可能です。KLA 6420 Surfscanの先進的な光学系は、位相シフトパターン投影、明視野と暗視野の組み合わせ、そして最も繊細なウェーハのための低光検出を組み合わせて、最高の解像度の結果を得ることができます。このユニットは、インフラストラクチャレベルのオートメーションを使用して設計されており、さまざまなスループットと精度オプションを迅速に導入できます。さらに、ユーザーはマシンを通じて有効になっている独自の検査を制御し、プロセスのニーズに応じてこれらをカスタマイズすることができます。このツールは、高度な分析、プロセス監視、レポート機能も提供します。これには、KLA AnalyzeとSyapsysが含まれており、ユーザーが変数をマップし、ウェーハ機能の微妙な変化を検出するのに役立ちます。さらに、このアセットは、欠陥マッピングおよび粒子検出ツールを使用して、表面地形の小さな変化を監視することができます。また、カスタムレポートを生成して、複雑なデータ分析を簡単かつ迅速に行うこともできます。Surfscan 6420モデルは、独自のTENCOR IC Worksソフトウェアを搭載しており、基本機能と高度な機能、さらにプロセス最適化のためのアルゴリズムベースのツールを提供しています。この装置は、効率と手頃な価格のために設計されており、コンピュータや専門的な理解が不要な自動運転を提供します。これにより、研究所、研究センター、生産工場での使用に最適です。最後に、PROMETRIXはSurfscan 6420システムの包括的なサポートも提供しています。同社は幅広いサービスプログラムを提供しており、オプションを利用してユニットを顧客の個々のニーズに合わせることができます。これには、フィールドエンジニアリングサポート、実地研修、包括的なオンラインテクニカルサポートが含まれます。
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