中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9221587 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、高度なウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、臨界寸法（CD）欠陥検査、ナノトポグラフィー、オーバーレイアライメント、ウェハレベルCD測定、均一測定など、さまざまな計測アプリケーションに使用できます。高度な光学・電気・機械技術を駆使し、高精度な計測・生産監視業務に対応しています。機械の主要なコンポーネントは、自動ウェーハ処理ツール、マルチステーションのスピンチャックステージ、大面積の検出器、レーザースキャナー、走査型電子顕微鏡（SEM）、およびアライメントされた望遠鏡イメージング資産です。自動化されたウェハハンドリングモデルにより、異なる機器コンポーネント間の効率的なサンプル転送とロードが可能になります。マルチステーションのスピンチャックステージを使用して、4000 rpmまでの速度でサンプルを回転させます。大面積検出器は、画像データやその他のプロセス品質パラメータを含むシステムデータを収集します。この検出器は、独自の充電結合デバイス（CCD）とフォトマルチプライヤ技術を使用して、高速信号キャプチャと転送を提供します。16ビットレーザースキャナは、レーザービームを使用して表面フィーチャー、重要なフィーチャーのサイズ、および欠陥を正確に分析します。SEMは、欠陥検査や測定に使用されるサブミクロン分解能の画像を生成するために使用されます。画像取得プロセスは、低ノイズのイメージングチェーンを使用して強化されています。これにより、より小さな特徴の高精度サイズと形状測定が可能になります。アライメントされた望遠鏡イメージングユニットは、ウェーハのさまざまな層のサブミクロンオーバーレイアライメント精度を測定するために使用されます。このマシンは、高解像度ビデオカメラとクローズドループXYモーションステージと強力な画像解析ソフトウェアを組み合わせて、最高のオーバーレイ精度値を提供します。このツールには、さまざまな入力オプションを備えたモニタアセットも含まれています。これにより、リアルタイムのサンプル画像やその他のプロセス関連情報を最大1000倍の倍率で表示できます。データは転送され、オンボードハードドライブを使用して保存されます。これは、さらに分析またはアーカイブするために、任意のリモートデバイスにバックアップまたはダウンロードすることができます。KLA 6420サーフスキャンモデルは、ウェハテストと計測のための高度な装置です。優れたユーザーエクスペリエンスでバックアップされ、高速で信頼性の高い正確な結果を提供します。ウェーハハンドリング技術の自動化、高品質のイメージングシステム、強力なソフトウェアにより、ウェーハレベルのCD計測、ナノトポグラフィ、オーバーレイアライメント、均一計測アプリケーションに正確な結果を提供します。