中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9207287 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、半導体ウェーハの電気的および光学的特性を精密に分析するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な光学および電子ビーム技術を使用して、浅いサブミクロンと深いサブミクロンの両方の特徴をスキャンし、各ウェハの欠陥、汚染物、および電気特性を検出します。KLA 6420サーフスキャンは、ウェーハ表面を高解像度で撮影し、電気地図に変換します。この電気マップは、電位、表面フィーチャー、膜厚などのさまざまなパラメータを測定するために使用されます。さらに、TENCOR 6420 Surfscanは、トレンチとビアの深さ、ウェーハ表面の粗さを正確に測定することができます。これにより、肉眼では見えない可能性のある欠陥や汚染物質を検出することができます。6420 Surfscanには、ウェーハとCAT （Comparative Analysis Tool）の特性比較を可能にする比較ツールなどの高度な機能があり、様々なデータポイントを簡単に比較することができます。PROMETRIX 6420 Surfscanは、電子ビームやレーザースキャンなどの高度な高解像度スキャン技術を使用して、ウェーハの地形を正確に測定します。これにより、KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、ウェハ表面および構造に埋め込まれた欠陥および汚染物を検出することができます。KLA GeoCorrectTM技術を使用することにより、KLA 6420 Surfscanは、あらゆる表面粗さおよびその他の非幾何学的要因に対して自動的に修正することができます。TENCOR 6420 Surfscanは、生産のスピードアップと品質管理の向上に役立つさまざまな機能を備えた強力なユニットです。このマシンは、6420 Surfscanによって取得されたデータをすばやく探索できる直感的なメニューとボタンで、使いやすいように設計されています。PROMETRIX 6420 Surfscanは、高度なスキャン技術を活用することで、これまでにない精度でウェーハ特性を分析し、正確に測定することができます。