中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9205197 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは「、Blue Scan」イメージングおよびマッピング技術を使用してウェーハ機能とウェーハ欠陥の両方のデータを取得するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、2つの主要な目的のためにウェーハの測定を成功させることができます。次に、ウェーハ表面またはウェーハ上にある製品デバイスの潜在的欠陥を検出するために使用されます。KLA 6420 Surfscanは、優れたトポグラフィーイメージングと測定機能を提供します。これは、ウェーハ表面の2Dブルースキャン画像を生成するために、前方散乱と後方散乱の両方の画像技術を使用しています。画像には、ウェハの高さ、幅、ピッチ、半径などの特徴の地形に関する情報も0。05 µmまで含まれています。これらの画像は評価され、ウェーハが望ましい仕様内にあることを保証するために標準を設定することと比較されます。TENCOR 6420 Surfscanには、2D Blue Scan画像に表示されている欠陥の光学特性に基づいて欠陥を検出できる高度な光学ベースの検出技術Automated SmartAnalyzerも含まれています。この技術は、アルゴリズムの洗練された組み合わせを使用して、粒子の汚染、オーバーエッチ、傷などのさまざまな種類の欠陥を識別し、分類します。自動化されたSmartAnalyzerは、サイズ、形状、深さなどの欠陥タイプに関するより詳細な情報を提供することもできます。このユニットには、PROMETRIX 6420 Surfscanによって収集された欠陥データを分析するために使用できるProSystemと呼ばれる欠陥解析ソフトウェアスイートも含まれています。ProSystemを使用すると、欠陥の大きさ、分布、位置、タイプに関する詳細なレポートを生成できます。このソフトウェアスイートには、データセットの傾向を時間をかけて識別するのに役立つ統計プロセスが組み込まれています。全体として、6420 Surfscanは強力で汎用性の高いウェーハテストおよび計測機で、比類のないイメージングおよび測定機能を提供します。Blue Scanイメージング、Automated SmartAnalyzerテクノロジー、ProSystem解析ソフトウェアを組み合わせることで、ウェーハ表面イメージング、欠陥検出、欠陥解析に効果的なツールとなります。