中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9133277 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、高度なマルチアプリケーションウェーハ試験および計測機器です。その洗練されたソフトウェア環境と包括的なハードウェアプラットフォームは、幅広い業界の本番環境に最適です。ウェーハテストと計測活動の信頼性と予測可能性を高め、コストを削減し、重要な洞察を明らかにするために特別に設計されています。KLA 6420 Surfscanは、独自の光学CD計測（OCM）スキャンシステムを使用して、線幅とCD（臨界寸法）値の両方を正確に測定します。自動化された非侵入サンプルステージ「Lights-Out」機能を搭載しており、ウエハ表面の完全な検査と顧客向けの微細構造の詳細な分析を正確に行うことができます。このマシンは、高度な平面構造をプロービングおよびマッピングするために不可欠な2軸チルト補償が可能です。TENCOR 6420 Surfscanには最先端のソフトウェア機能も搭載されており、ハードウェアによって達成されたパフォーマンスを向上させます。低解像度、全解像度（1GHz/6GHz）を含む様々な高速スペクトルをキャプチャして解析することができ、TTV、計測、プロセス制御評価など、あらゆる欠陥検査を行います。そのソフトウェアはユーザーフレンドリーなインターフェイス上に構築されており、ユーザーエラーを減らし、全体的な効率を向上させることを意図しています。PROMETRIX 6420 Surfscanには、ソフトウェア定義のクリーンルーム機能も含まれており、一連のクロムベースのアップロード可能なレコードを介して完全な運用トレーサビリティをお客様に提供します。適切な校正により、2nm以下の高精度な測定が可能です。高度なパーティクルイメージングとカウント（PIC）機能を備え、ウェハとレチクルの両方のデータを乾燥および湿潤プロセスで取得することもできます。全体として、6420 Surfscanはウェーハテストと計測システムの最新の進歩を表しています。このアセットは、高度な光学CD計測ツールから包括的なソフトウェア機能まで、正確なテスト、豊富な機能、信頼性の高いコスト効率の高い製造を提供します。