中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #293625758 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、半導体ウェーハの表面欠陥を検出するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。特許取得済みのMicro Scanテクノロジーにより、他の既存の欠陥検出システムよりも欠陥検出感度と再現性が向上します。サーフスキャンは、高度な光学、リソグラフィック、FEOL層の真の微視的欠陥を迅速に検出するように設計されています。Surfscan 6420には、高精度カメラに接続されたデジタルビジョンシステムが搭載されています。Surfscan 6420は、500nmの解像度で1パスで最大2つのウェーハ径を測定することができます。このユニットはリニアスキャンとリングスキャンの両方の検査機能を備えており、ウェハ全体を100％カバーします。Surfscan 6420は、SEM （Scanning Electron Microscopy）とBroad Field Defect Review （BFDR）イメージングの真の4次元の組み合わせを利用して、サンプル画像を収集および分析します。これにより、Surfscan 6420は、最大500nmの解像度で、反転または欠損ダイを含む幅広い欠陥タイプを検出および定量化できます。Surfscan 6420は、欠陥診断と分類のプロセスを簡素化するためのさまざまなアルゴリズムをユーザーに提供します。これらのアルゴリズムにより、マシンは想定される欠陥を識別し、ユーザー定義の基準に基づいて「分類器」に割り当てることができます。オートセンタリング機能とアライメント機能により、高精度で信頼性の高い欠陥位置を実現します。欠陥画像分析は、Surfscan 6420のユーザー設定可能なサマリー統計とトレンドレポートのスイートを使用して合理化されます。これらの機能により、ユーザーはウェーハ上に存在する可能性のあるさまざまな欠陥タイプをすばやく識別して文書化できます。さらに、このツールのソフトウェアには、欠陥報告を簡素化および合理化するための標準欠陥分類用語のライブラリが付属しています。Surfscan 6420には、自動品質管理、後処理、欠陥認定を提供する包括的なソフトウェアパッケージが付属しています。このソフトウェアは、統合されたGIS追跡機能と包括的なウェハデータ分析機能も提供します。さらに、トレーニングとメンテナンスコストを最小限に抑え、信頼性の高い再現性のあるパフォーマンスを提供するように設計されています。KLA 6420 Surfscanは、半導体ウェーハの表面欠陥を正確かつ確実に検出するために設計された高度なウェーハ試験および計測資産です。高精度のイメージング、構成可能なアルゴリズム、包括的なソフトウェアを備えたSurfscan 6420は、最高品質の生産を保証する理想的なソリューションです。