中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #293623028 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、高速かつ正確なインラインウェーハ試験および計測用に設計されたマルチセンサー機器です。光学、レーザー、センサー、カスタムソフトウェアを組み合わせて提供し、さまざまな基板にわたる高度な表面解析、欠陥識別、寸法計測を提供します。6420は、洗練された修正されたMillerトリプルビームスキャンレイアウトに基づいたユニークな光学構成を備えています。このスキャンパターンにより、パフォーマンスを損なうことなく、可変焦点による高速で高解像度のイメージングが可能です。さらに、システムは、非常に細かい特徴だけでなく、より大きく、不規則な形状の特徴の測定を可能にします。6420はまた、計測パッケージの一部としてレーザー光学ユニットを備えています。これにはフーリエ変換プロフィロメータが含まれており、非常に正確なサーフェスマッピングが可能です。これは、表面の地形特性が必要なアプリケーションで特に役立ちます。6420は、オペレータがリアルタイムでサンプルの状態を監視し、再現性を確保することを可能にする統合されたランツーラン制御機能を備えています。さらに、パフォーマンス、精度、およびテスト速度のカスタマイズを可能にするために、さまざまなハードウェアおよびソフトウェアオプションが用意されています。最後に、KLAが提供するソフトウェアパッケージには、欠陥識別（汚染と構造欠陥の両方）、パターンマッチング、計測ツール、位相コントラストイメージングなど、一連の自動解析ツールが含まれています。これらのツールはすべて、カスタムプログラミングのオプションとともに、さまざまなウェハテストおよび計測アプリケーションで最大限の柔軟性と使いやすさを実現します。全体として、KLA 6420 Surfscanは強力で汎用性の高いマシンで、さまざまな基板を迅速、正確、確実にテストおよび測定できます。高度な光学系、レーザー光学系、強力なソフトウェアの組み合わせにより、インラインテストおよび計測要件に最適です。