中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9272264 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、研究および生産環境向けの最先端のウェーハ試験および計測機器です。半導体材料の抵抗、許容率、静電容量、漏れパラメータなどの電気特性を迅速かつ正確に測定できます。このシステムは、ファウンドリ、ファブ、エンジニアリングライブラリなど、幅広いプロセスノードと最新技術をサポートするように設計されています。KLA 6200 Surfscanは、強力で高精度な5メガピクセルCCDイメージングセンサーを備えており、高解像度の画像処理アルゴリズムにより、5マイクロメートルの解像度でウェーハ機能の画像をキャプチャできます。大型の9。1インチビューは、高い研究と生産スループットをサポートするように設計されています。このユニットは、ウェーハ特性の欠陥やプロセス誘発バリエーションを検出するだけでなく、潜在的なランダムかつ体系的な製品歩留まり損失を特定するのにも役立ちます。TENCOR 6200 Surfscanには、プロセスレシピの内蔵データベースや保存された測定など、高度なプロセス特性評価とデータ処理機能が搭載されています。機械の高度な計測スイートには、散乱計、表面粗さ、膜厚などの幅広いプロセス特性評価ツールを備えた3D測定プラットフォーム、および応力解析、エッジ、プロファイルのリフトオフなどの高度な技術も含まれています。PROMETRIX 6200 Surfscanは、正確な構成に応じて、4「から12」までのさまざまなウェーハサイズをサポートしています。オプションとして、ウェーハの自動処理、スループットの最適化、小さな欠陥を検出するための自動光学検査ツールなどがあります。アセットには、直感的なユーザーインターフェイスと、プロセスメトリックを監視し、ロット間の欠陥、バリエーション、バリエーションに関するデータを取得するための包括的なレポートソフトウェアも付属しています。6200 Surfscanは、研究および生産環境における高精度のウェーハ試験および計測のための費用対効果の高いソリューションです。高度な計測機能と直感的な設計により、KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、ウェハテストと計測を最大限に活用するための効率的で正確な方法を提供します。