中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9262110 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、半導体メーカーのニーズを満たすように設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、効率的なウェーハテストと分析のための高度な機能とスループットを提供します。このユニットは、高解像度のプロファイライメージングマシンとコンタースキャン1250座標測定ステーションで構成されています。プロファイラツールは、最大0。25ミクロンの解像度を持つ片面ウェーハと両面ウェーハの両方の機能を測定することができます。コンタースキャン1250ステーションは、最大1ミクロンの分解能まで測定できます。このアセットは、高度なサーフェスフィーチャー認識と高速データ取得を備えています。従来のウェハ検査技術と比較して、より高速かつ高精度な表面特性測定が可能です。また、複数のセンサを活用し、データ解析を自動化することで、ウェーハスループットと検査速度を向上させました。また、製造プロセスの異常が発生する可能性がある場所を特定するために、フィーチャーの傾向を解釈する機能もあります。Varian Well Connectedなどの様々なカスタム解析ツールを搭載しており、同じウェーハ上のゲート、アクティブエリア、ウェル境界を同時に解析できます。また、ウェハマッピング機能を搭載し、デバイス構造へのプロセス起因の変化を追跡し、欠陥検出を自動化します。このユニットは、手動操作と自動化された操作の両方をサポートし、最大限の柔軟性を実現します。直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、ユーザーはさまざまな分析タスクを迅速かつ簡単に実行できます。さらに、このマシンは他のプロセス制御システムとの統合をサポートし、継続的な動作を保証します。KLA 6200 Surfscanは、スピードやスループットを損なうことなく、正確なウエハテストと分析を必要とする半導体メーカーにとって理想的なツールです。このツールは、高度な機能認識、高速データ取得、プロセス監視、および自動欠陥検出により、歩留まりを改善し、生産性を向上させる費用対効果の高いソリューションを提供します。