中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9245958 を販売中

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ID: 9245958
ヴィンテージ: 1992
Inspection system 1992 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、半導体メーカーにサービスを提供するために開発された重要な寸法および膜厚測定ツールです。この装置は、3軸スキャナを使用して、最大100Hz、最大6kHzのダイナミックスキャンを実行します。ウェーハ、ウェーハレベルパッケージ、薄膜基板の3次元計測に最適です。フラット、カーブ、ステップ、ステップインなど、あらゆる表面のクリティカルな平坦度を測定できます。KLA 6200サーフスキャンシステムは、0。1micronの分解能を持つ0〜32ミクロンの広い測定範囲を備えており、正確で正確な測定に適しています。また、3軸スキャナは3軸スキャナすべてにおいて高い再現性を保証し、位置測定において高い再現性を確保し、一貫性のある測定を提供します。3軸スキャナ設計により、TENCOR 6200サーフスキャンユニットは、段差面などの高度な形状を効果的に測定できます。また、操作と分析を容易にする包括的な機能を備えた直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスも備えています。また、独自のアルゴリズムが統合されており、自動サーフェス測定、インストゥルメントチルト、スタブサンプリング、検出器オフセットなどのエフェクトの修正が可能です。さらに、6200 Surfscanツールはいつでも校正することができ、プロセスや製品の変更に関する正確な測定を保証します。PROMETRIX 6200 Surfscanアセットには、半導体ウェハテストおよび計測用に特別に設計された包括的なソフトウェアツールも含まれています。これらのツールは、異なる材料、デバイス、およびアプリケーションのためのパラメータの広い範囲の分析と特性評価を可能にします。その最も重要なツールの1つはCritical Dimension Softwareであり、対応する金型で重要な寸法を測定および比較し、時間の経過とともに重要な寸法の変化を分析することができます。全体として、KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanモデルは、ウェーハ試験および計測プロセスの効率と精度を向上させたい半導体メーカーにとって理想的なソリューションです。高い測定範囲、高い再現性、直感的なユーザーインターフェースなど、幅広い機能を備えているため、これらのメーカーにとって強力で包括的で信頼性の高いソリューションです。さらに、そのソフトウェアスイートは、さまざまなパラメータとアプリケーションの包括的な分析を保証し、最終的には、重要な寸法変更を自信を持って分析し、成功した正確なウェーハテストと計測プロセスを確実にするための理想的なツールをユーザーに提供します。
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