中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9243759 を販売中

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ID: 9243759
Inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、表面欠陥解析および重要寸法測定のための高いスループットと信頼性の高いアプリケーションを提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。KLA 6200 Surfscanは、マルチレベル相互接続、低kおよび超低k材料、超薄型および3Dデバイスを含む幅広いウェーハに対応する柔軟な設計を提供します。このシステムは、高度な光学技術を使用して表面汚染物質を検査し、プロセス制御アプリケーションの重要な寸法とプロファイルデータ管理を行います。その高度なレンズは、サイズのミクロンの分数まで欠陥の画像をキャプチャするだけでなく、テストウェーハの均一な照明を提供するように設計されています。そのスキャン技術には、広い視野、焦点深度の強化、超高速スキャンが含まれており、迅速かつ正確な結果を得ることができます。また、高度なダイ・ツー・データベース・プロセスを備えており、収集されたデータを確実に保存し、分析およびさらなる分析のためにマッピングします。TENCOR 6200 Surfscanは、優れたデータ精度を提供し、表面粗さ測定、粗さパワースペクトル、欠陥位置と特性評価、幾何学的精度、非接触表面プロファイルなどの高度な測定機能を提供します。また、エッジ検出性を備えた3D欠陥イメージングもサポートし、エンドユーザーのインダイ検査を可能にします。また、ダイツダイやフルウェーハ比較などの高度なウェーハ検査オプションもあり、計測プロセスを最適化できます。このマシンには、Webベースのユーザーインターフェイスが含まれており、すべてのプロセスデータを簡単に表示および管理し、合理化された制御を可能にします。ユーザーインターフェイスは使いやすさのために設計されており、ユーザーがニーズに合わせてカスタマイズできるモジュラー設計を提供しています。また、包括的なデータエクスポート機能も備えており、ユーザーは情報に簡単にアクセスできます。全体として、PROMETRIX 6200 Surfscanは、ウェーハテストおよび計測業界で優れた、正確で信頼性の高い結果を提供します。6200 Surfscanは、高度な光学およびスキャン技術、高スループット、およびデータ精度により、ユーザーに究極のウェーハテストと計測ソリューションを提供します。
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