中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9235016 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、高度な光学技術によって信頼性の高い正確な結果を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムには、デジタルイメージングと自動ウェーハ解析機能が搭載されており、ウェーハ表面の地形やパターン構造を0。35ミクロンの精度で測定することができます。ウェーハ表面の地形、欠陥、ステップ高さ、プロファイルなど、さまざまな試験基準を評価することができます。KLA 6200 Surfscanは最新の光学計測設計を採用しており、広い視野を視覚化したマルチアングル計測を提供します。オートフォーカス・プロシージャを使用することで、単一のスキャンでウェーハ表面全体を正確に調整および測定できます。このマシンには統合パターン検査手順も装備されており、リファレンススキャンまたはテンプレートを使用してデバイス機能を正確に測定できます。Surfscan 6200は、光学対物レンズを組み合わせることで、重要なデバイスパターンと表面トポロジーの高分解能測定を実現しています。高度なQ-Focusアプリケーションを使用して高精度のフォーカス調整を行い、デバイスの高さとサイズのパラメータを評価する際の優れたパフォーマンスを提供します。OptiProbe Imagingテクノロジーを使用して、アセットはパターンの形状、エッジ、コーナーを正確に識別し、サンプル材料の不均一性と矛盾を補うことができます。Surfscan 6200は高精度で信頼性が高く、最も要求の厳しいプロセス変動要件を満たすことができます。ユーザーフレンドリーなソフトウェアを備えており、使いやすさと迅速なセットアップ時間を可能にします。8ビット画像認識、エッジ検出、非均一認識、パターン検査、傾き測定などのソフトウェア機能を統合したモデルでは、より短時間で高精度な結果を得ることができます。TENCOR 6200サーフスキャン装置は、半導体メーカーにとって理想的であり、ウェーハに見られる最も一般的な欠陥のいくつかを識別できる高度な視覚評価機能を備えています。このシステムは、個々のデバイス機能の測定に適しており、デバイスの形状、長さ、幅などの重要な機能をより明確に評価することができます。最終的に、PROMETRIX 6200 Surfscanは、高度な精度と信頼性を備えたウェーハ表面とパターンを評価するための効果的な計測ソリューションを提供します。