中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9234557 を販売中

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
販売された
ID: 9234557
ウェーハサイズ: 4"-8"
Automatic surface inspection system, 4"-8" Sub-micron sensitivity defects: 0.10 Micron particles Color codes defect maps, histograms & other graphics Instantaneous magnified 3-D views of individual defects Surface haze detection Laser type wavelength: Argon 488 30 mW Particle sensitivity: 0.10 um at 95% Measurement range: 0.09-9999 um Haze sensitivity resolution: 0.05 ppm Repeatability: 0.5% at 1 standard deviation Throughput: 150 wph on 6" wafer.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、さまざまな特殊なウェハアプリケーションで精密な結果を提供するように設計された高性能ウェーハテストおよび計測機器です。KLA 6200 Surfscanは、レーザー共焦点技術を利用して、集積回路ウェーハの物理的特性、特に厚さ、粗さ、質感を非常に正確に測定します。TENCOR 6200サーフスキャンシステムには、2つの高解像度カラーカメラが装備されており、オペレータがテスト中のワッファを監視することができ、ユニットはまた、ウェーハ表面全体にわたって非均一性を検出して測定することができます。6200サーフスキャンは、非ICウエハ(光学系やマイクロエレクトロメカニカルシステムなど)の表面特性を高精度に測定することも可能です。PROMETRIX 6200 Surfscanマシンは、ハイスループットのサンプル調製を可能にし、すべてのレベルの速度で正確な測定を保証するデュアルステージの自動スキャンヘッドを備えています。このツールは、毎時800サンプルまでのスキャン速度を提供するように設計されており、最大スキャン速度は毎秒20インチです。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、自動校正、レイテンシ補償、フィールドマッピング、統合コンディショニングなど、幅広い高度な機能を提供し、信頼性の高い資産です。KLA 6200 Surfscanのソフトウェアスイートには、エリアプロファイリングとラインプロファイリング、ピーク/バレー測定、グレイン振幅/向き解析、オートスケーリング/自動プロット機能などの高度なデータ分析方法が含まれています。さらに、ソフトウェアは汚染監視機能を提供し、ウェーハ表面に存在する汚染物質のレベルに関するリアルタイムのフィードバックを提供します。TENCOR 6200 Surfscanには包括的な診断機能も搭載されているため、発生する可能性のあるモデルエラーの迅速かつ効率的なトラブルシューティングが可能です。最後に、装置は例外的なカスタマーサポートによって支えられ、顧客がシステムを最大限に活用できるようにガイダンスとアドバイスを提供します。6200 Surfscanは、ウェーハ製造のためのサンプルの検査で可能な限り最高の精度を提供する強力で信頼性の高いシステムです。これは、重要なアプリケーションの物理的特性を測定するための包括的で信頼性の高いソリューションを求める人々にとって理想的なソリューションです。
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