中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9230009 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、半導体および太陽電池ウェハのハイスループット表面解析を必要とする生産環境向けに設計された先進的なウェーハ試験および計測機器です。非接触楕円測定法を使用して、サンプルの光学特性を測定します。洗練されたスキャンソフトウェアを使用して、半導体ウェーハの平坦性、反射率、応力プロファイル、および表面粗さを決定するために使用できます。このユニットは、スキャンヘッド、測定チャンバ、計算ノードの3つのコンポーネントで構成されています。スキャンヘッドにはレーザーベースのセンサーが内蔵されており、測定チャンバーに取り付け可能で、迅速で効率的なサンプル測定が可能です。測定チャンバーは密閉された温度制御された環境で、最新のオートメーション技術を搭載して、手動ハンドリングを排除しながらサンプル測定を高速化できます。Computeノードは、結果を保存し、スキャンを構成し、自動測定プロセスをガイドするために使用されるコンピュータです。機械は高度の分析およびレポート生成のための強力な分析ソフトウェアが装備されています。このツールは自動化された双方向ステッチを備えており、スキャンプレーン全体にわたって完全な分析範囲を確保し、大規模なウェハレベルの分析を可能にします。KLA 6200 Surfscanアセットは、波長走査楕円測定（WSE）、臨界寸法（CD）、波面前面誤差（WFE）、表面特性評価、非破壊検査（NDT）など、さまざまな測定技術を提供します。WSEは、サンプルの光特性の変化を波長関数として測定します。CDはサンプル上のフィーチャーを測定するために使用され、WFEは表面平坦度の変化を追跡するために使用されます。表面特性は、気孔率、粒度、組成などのサンプルの物理的特性を決定するために使用されます。最後に、NDTは欠陥を検出するために使用され、サンプルの電気特性を測定するために使用されます。全体として、TENCOR 6200 Surfscanは高度なウェハテストおよび計測モデルであり、高スループットの表面解析を必要とする生産および研究環境において正確な測定機能を提供します。この装置には、高度なスキャンソフトウェア、自動サンプル処理、高度な分析とレポート生成のための自動解析ソフトウェアが装備されています。このシステムは、さまざまな測定技術を提供し、光学特性測定、表面特性評価、非破壊検査機能を提供します。