中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9216650 を販売中

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ID: 9216650
ウェーハサイズ: 4"-8"
ヴィンテージ: 1994
Particle counter, 4"-8" Non-patterned surface inspection system OS: Windows Defect sensitivity (PSL STD): 0.1 Micron Haze sensitivity: 0.02 ppm Haze resolution: 0.002 ppm Accuracy: 1% XY Co-ordinates Lock down accessories KLA / TENCOR Blower assembly Manuals included Power requirements: 208 V, 60 Hz, 17 A 1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、さまざまな基板上の複雑な表面や構造を高精度に測定するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、特許取得済みの計測アーキテクチャ、高度な自動化ソフトウェア、および専門的な光学技術を統合して、ウェーハ構造を測定するこれまでにない能力を提供します。KLA 6200 Surfscanには、ウェーハ全体を同時かつ高速に正確にスキャンするMultiGene™光学ユニットが内蔵されており、ハイスループットのアプリケーションに適しています。可視光検知システムと赤外光検知システムの両方を備えているため、不透明、透明、非反射面を正確に測定できます。TENCOR 6200 Surfscanは、特許取得済みのEncore™ワークフロー自動化ソフトウェアを使用して、完全に自動化された基板の読み込み、スキャン、および分析を提供します。ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、スクリプト作成もサポートしており、ユーザーは独自のカスタムテストと計測アルゴリズムを開発することができます。ソフトウェアはまた、任意のユーザー定義の基準を使用して欠陥を検出し、分類するために使用することができ、自動欠陥検出および検出をサポートしています。PROMETRIX 6200 Surfscanは、アセットの統合された分類アルゴリズムを使用して、クリーンで欠陥のあるウェーハ構造を分離するために使用できる自動ウェーハソートツールも備えています。6200 Surfscanは、計測分析の精度と精度を確保するために設計されたハードウェアとソフトウェアで利用可能な最高解像度のイメージングを組み合わせています。このモデルには、10Kピクセル解像度センサが内蔵されており、1 Angstromまでの表面粗さを測定できます。さらに、装置は自動化され、非常に高速で、幅広いサンプルサイズをサポートしているため、非常に汎用性が高くなります。独自の機能に加えて、KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanも信頼性が高く経済的です。このシステムはメンテナンスフリーに設計されており、ダウンタイムを最小限に抑えてパフォーマンス仕様を常に満たしたり超えたりすることができます。さらに、このユニットは競争力のある価格であり、産業および研究アプリケーションにとって費用対効果が高くなります。全体として、KLA 6200 Surfscanマシンは、多種多様なアプリケーションに対応する非常に汎用性が高く、費用対効果の高いウェーハ試験および計測ソリューションです。TENCOR 6200 Surfscanは、包括的な自動化機能、高精度の解像度、効率的なワークフローの自動化、競争力のある価格で、要求の厳しい産業および研究環境に最適なツールです。
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