中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9203832 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、高度な測定品質と均一性を確保するために特別に設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、low-kおよびhigh-k誘電体の両方を監視および分析する機能を提供し、サンプルサイズの変化に対応できます。インラインプロセス制御用に設計されており、オンボードダイシング機能とクリティカルレイヤーの統合解析機能を備えています。KLA 6200サーフスキャンは、ウェーハステージ、ウェーハチャック、真空チャック、ビジョンユニットなど、多くのコンポーネントで構成されています。ウェーハステージとウェーハチャックは、ウェーハ表面を正確に測定および分析するために必要な制御された表面運動を提供します。真空チャックは、測定中にクロスコンタミネーションが発生しないように、高いサンプル封じ込めを可能にします。このビジョンマシンには高解像度のライトとカメラが搭載されており、サンプル表面の特徴と欠陥を正確に識別できます。高いスループットと再現性を備えたTENCOR 6200 Surfscanは、卓越したスピードとパフォーマンスを提供し、ウェーハの生産と分析を可能な限り短時間で可能にします。非常に洗練されたツールは、滑らかさと粗さのレベルスキャン測定を提供し、ユーザーはラッピングとクリーニングプロセスのローカルとグローバルの両方の効果を表示することができます。6200 Surfscanはまた、自動化されたテスト機能を備えており、プロセスの自動化を可能にし、潜在的なヒューマンエラーを排除します。さらに、PROMETRIX 6200 Surfscanは、さまざまなサイズのサンプルや幅広い材料を測定するための高度な柔軟性を提供します。このアセットには、使いやすいタッチスクリーンインターフェイスが付属しており、さまざまな構成や設定に便利にアクセスできます。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、3Dおよび高度なアプリケーションプログラミングもサポートしています。全体として、KLA 6200 Surfscanは、プロセス制御と自動化のために設計された高度なウェハテストおよび計測モデルです。この装置は信頼性が高く、反復可能で柔軟性があり、素晴らしいスループットを提供し、ユーザーが生産を最大化し、潜在的なエラーを排除することができます。