中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9152152 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、高速、高精度のウェハテストと計測を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。KLA 6200 Surfscanは、容量性ヘッド、3軸ステージ、高度な100mm産業用ウエハハンドラなど、多くの高度な機能を備えた最先端のシステムです。このユニットは、200、300、400 mmなどのさまざまなサイズのウェーハをテストすることができます。この機械は、高精度の3軸ステージツールで設計されており、解像度が0。2mm未満の150mmまでの移動範囲で、正確なアライメントと絶対位置決めが可能です。また、正確なプロービングと正確なデータ取得のための広いダイナミックレンジを提供します。このアセットには高度な容量性ヘッドも装備されており、より高い感度と高いダイナミックレンジを提供し、より高い精度の測定を可能にします。最大0。01ナノメートルの分解能で、5ナノメートルから15マイクロメートルの範囲で測定することができます。TENCOR 6200 Surfscanは、ウエハーのエッジ検出と正確な検査を可能にする高度な100mm産業用ウエハハンドラを備えています。最大200mmのロードロック深度と、± 3。0 μ mのウェハ取得と搬送精度を備えています。また、最大200mmまでの複数のウェーハの粗いアライメントと細かいアライメントの両方を提供することができます。このモデルには、さまざまな測定に合わせて調整できる自動校正装置があり、フォーカス、露出、ゲイン、オフセットなどのパラメータを調整できます。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、パラメータや設定の制御と監視を可能にします。さらに、PROMETRIX 6200 Surfscanは、データ分析にさまざまなオプションを提供し、ピーク分析、スタンドアロンライブラリ、レシピ比較など、さまざまな方法でデータを分析することができます。これにより、ユーザーはウェーハの障害をすばやく検出して診断することができます。全体として、6200 Surfscanは、高速、高精度のウェーハテストと計測を提供するように設計された最先端のユニットです。精度と精度に加えて、ユーザーがウェーハの問題をすばやく診断できるさまざまな機能を提供します。