中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9045526 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、ウェーハおよび基板の計測および試験用に設計された高度で信頼性の高い機器です。ウェーハテストと計測アプリケーションの両方において、精度、効率、柔軟性を確保するのに役立つ多種多様な技術を備えています。このシステムには、直径200mmまでのウェーハを扱うことができる6軸ロボットが装備されています。ロボットは回転の中心を調整し、ウェーハを5°以内に向けることができ、傾きの角度を調整することができます。これにより、ウェーハテストと計測プロセスの精度が向上します。このユニットには、デジタルアライメントマシンを含む複数のセンサーが装備されており、ツールの精度と再現性を保証します。この資産は、測定プロセス中にエラーや不正確な可能性を回避するために動作します。また、高解像度スキャナと照明機器を搭載しており、測定が困難なバンプやラインなどの小型・極めて詳細な機能のイメージングが可能です。このイメージングにより、さまざまな角度から複数の画像をキャプチャすることができ、検査中のサンプルの深さとサイズを測定するのに役立ちます。さらに、このシステムには、データの測定、分析、検証のプロセスを含む、さまざまなウェーハテストおよび計測機能を制御できるソフトウェアスイートが含まれています。ソフトウェアスイートでは、ユニークなウェーハテストおよび計測アプリケーションの特定のニーズに合わせてユニットをカスタマイズすることもできます。これにより、機械内での精度と再現性が向上します。さらに、このツールは、資産内の熱制御と安定性を可能にするさまざまな熱技術を備えています。これはウェーハを一貫した温度範囲内に保つのに役立ち、プロセス中の正確な結果を保証するのに役立ちます。KLA 6200 Surfscanは、ウェーハテストおよび計測アプリケーションで装置を使用する際に、ユーザーに高い精度と再現性を提供するように設計された、信頼性の高い正確なモデルです。その機能は、その結果が正確で、正確かつ一貫したものになることを知ることの快適さをユーザーに提供します。